非金屬軟件變形真空動密封連接

　　非金屬軟件變形真空動密封連接的主要密封物質是真空橡膠管。由于橡膠管放氣和不能承受高溫，因此，對要求達到1.3×10-4 Pa 以下的壓強，或應進行高溫烘烤的真空設備，限制使用這種連接。當然，如果采用耐熱硅膠，其使用溫度范圍也可以達到150℃。真空橡膠管所傳遞的運動形式主要有兩種，即直線運動和旋轉運動。

　　在應用非金屬柔性元件的動連接密封中，也可以采用橡膠薄板為密封物質。橡膠薄板的外邊緣固定在真空容器的外壁上。內邊緣則固定在軸的突肩上。圓筒形橡膠薄板可以折疊180°，因此在利用圓筒形橡膠板時，連桿工作行程不超過隔板自由狀態部分外徑的10%。這種結構常常用在氣動真空閥，以及低真空和中真空的閥門中。這種密封裝置雖然結構比較簡單、成本低廉，但是由于非金屬軟件的材料為真空橡膠制品，它不但不能承受轉矩，也會因放氣而影響真空室內真空度的提高，更不能承受高溫的烘烤。因此不宜在超高真空動密封中使用。

金屬軟件變形真空動密封連接

　　在金屬軟件變形的真空動密封連接中采用金屬波紋管實現向真空中傳遞直線運動、擺動和旋轉運動是比較方便的。其特點是在真空中的從動環節的位移量大、運動速度高、傳遞的負荷范圍也較寬。

　　利用全金屬波紋管制成的動密封裝置，不但結構較簡單而且在結構中易實現兩種或多種形式的傳動。此外，由于波紋管是薄壁制成的金屬管，并且富有彈性、容易彎曲、伸張和壓縮，又能經受高溫烘烤，因此，近年來在一些真空設備上得到了一定的應用。

　　金屬波紋管的主要缺點是制造比較復雜，裝配不夠方便，而且不宜用于傳遞高速度的運動，波紋管在使用時也應注意，首先壓縮要均勻，否則會在管子的圓周上產生局部應力而造成破裂。波紋管只能承受拉、壓而不能承受扭轉。這就使它的應用范圍受到了限制。

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