探討了274、275超高真空擴散泵油極限真空測試過程中，除氣、循環冷卻水溫度、冷阱及環境溫度等因素對測試結果的影響。結果表明，冷阱對測試結果影響不大，除氣、循環冷卻水溫度及環境溫度對測試結果影響極大，必須徹底除氣同時將溫度控制在10~25℃，才能準確測試出極限真空度。

　　真空技術在許多工業部門及尖端技術中得到了廣泛的應用。真空測量技術在工業生產及科技領域中具有極其重要的意義。真空測試系統由擴散泵及真空測量儀表組成。擴散泵主要有金屬轉動真空泵、金屬擴散真空泵和玻璃擴散真空泵3種；超高真空測量儀表有B-A式電離真空計、冷陰極磁控式電離真空計、場放顯微鏡3種。本實驗采用了玻璃擴散真空泵和B-A式電離真空計的真空測試系統。由于測試極限真空的過程復雜，控制參數較多，使得影響測試結果的因素較多，樣品的極限真空重復性差，誤差可達2個數量級；因此，探討影響極限真空測試結果的因素，提高測試數據的相對穩定性，對準確測定274、275超高真空擴散泵油極限真空尤為重要。

1、實驗

　　1.1、基本原理

　　1.1.1、玻璃擴散真空泵的工作原理

　　玻璃擴散真空泵的結構示意圖如圖1所示。在用前級泵不斷抽空時，油在泵底被電爐加熱，形成蒸汽流，沿中央管筒上升，在噴口處受噴口蓋阻擋以極高的速度從噴口噴出；這時油分子由于溫度很高且噴口截面積陡然變小而受到壓縮，因此流動速度加快。如果油蒸汽在噴口附近和空氣分子相碰撞，大部分的空氣分子會擴散、混合到油蒸汽流中；油蒸汽被溫度低得多(用水冷卻)的泵壁冷卻，重新凝結成液體再次流入泵底，而氣體分子不會凝結，在泵的下端被前級泵連續抽除，使系統達到高真空。

圖1 玻璃擴散真空泵的結構示意圖

　　1.1.2、B-A式電離真空計的工作原理

　　B-A式電離真空計的結構示意圖如圖2所示。工作時，陰極通電加熱后，在帶正電位的加速極的加速電場作用下，發射的熱電子飛向加速極；熱電子在飛行過程中獲得了足夠的功能，并與管內空間的氣體分子碰撞，使氣體分子電離，產生正離子和電子。正離子被帶負電位的收集極接收形成離子流Ii，電子被加速極吸收形成電子流(或發射電流)I℃。在壓力[01133Pa時，離子流Ii與被測系統中的氣體密度(也就是壓力p)及發射電流I℃成正比，即IiApI℃，pAIi/I℃；在電離真空計靈敏度確定之后，只要發射電流一定，就可從測得的離子流直接標明真空度。

圖2 B-A式電離真空計的結構示意圖

　　1.2、主要原料及儀器

　　擴散泵油:274、275，中昊晨光化工研究院。

　　玻璃四級立式油擴散泵:外形尺寸為泵高600mm，泵直徑120mm，進氣口外徑35~40mm，出氣口外徑15mm；真空性能為在抽速130L/s下，余壓小于10-2Pa；極限壓力為9@10-8Pa；返油率為10-8mg/cm3#min；加油量約為120mL；加熱功率為800W，上海嘉定泰和玻璃廠。B-A式電離真空計:ZJ-6型，加熱裝置高約450mm，直徑約150mm，繞有1500W電熱絲，與擴散泵連接用玻璃管外徑29~31mm；成都國光電氣總公司；熱偶規管:DL-3型，與系統連接用玻璃管外徑12~13mm；成都國光電氣總公司；旋片式機械真空泵:2XQ-4型，上海真空泵廠；三通真空閥:塞心孔徑10mm，上海真空泵廠；復合真空計:測量范圍13~0113Pa，成都瑞普電子儀器公司；超高真空電離計:測量范圍110@10-2~110@10-7Pa，成都瑞普電子儀器公司；高頻火花檢漏器:江蘇省海安無線電儀器廠；電壓表:交流250V，115級，2只。

　　1.3、真空測試系統

　　真空測試系統示意圖見圖3。

　　1.4、操作步驟

　　排盡泵內原有的擴散泵油，用20%氫氧化鈉乙醇溶液灌滿泵，浸泡24~48h后，倒掉；用水反復沖洗，最后用蒸餾水沖洗3次，烘干，備用。若泵內原擴散泵油的極限壓力合格，可采用/油洗滌法0清洗擴散泵。方法如下:先排盡泵內已試擴散泵油，再倒入欲試擴散泵油，仔細洗滌兩次(每次約200mL)，注意勿使油沾污盤形水冷擋板以上的真空室。

　　擴散泵油通過漏斗從擴散泵出氣口加入，一般需加至噴口線處(約120mL)。

圖3 真空測試系統裝置示意圖

　　1)玻璃水銀溫度計(500℃)；2)B-A式電離真空計；3)加熱裝置；4)擴散泵進氣口；5)鐵架；6)盤香形水冷擋板；7)雙層水冷帽；8)1~4級噴口；9)噴口線；10)電爐(1200W)；11)調壓變壓器(2kVA)；12)分餾泡；13)擴散泵出氣口；14)熱偶真空計；15)三通真空閥；16)玻璃測溫器；17)真空橡膠管(內徑18mm)；18)真空泵；19)玻璃貯氣泡

　　將圖3將真空測試系統的玻璃接口封裝。啟動機械泵，用高頻火花檢漏器檢測玻璃接口；若無白點出現，則說明系統無漏。通入擴散泵冷卻水，并開啟電爐加熱。

　　擴散泵工作后，選擇適當的加熱功率(900~1200W)，以使低餾分不沖入分餾泡內為宜，直到測試結束。

　　調節通入擴散泵的冷卻水流量，使出口處的溫度始終保持在10~25℃。

　　按復合真空計操作方法測量前級壓力。油沸騰20~30min后(余壓需達10-3Pa以下)，可對電離真空計燈絲進行除氣，除氣功率60W，時間1~2min，反復3次。

　　除氣畢，用加熱裝置對電離真空計進行烘烤，溫度控制在420~460℃，保持1~2h。切斷烘烤電源；當溫度降至300℃以下時，移開加熱裝置，待電離真空計稍冷后開始測量。先用60W功率對真空計燈絲進行除氣10min，記錄歷時5min、10min、15min時的讀數，極限壓力變化不得超過一個數量級；以5min的讀數作為測試結果。當第一次測量結果達不到要求時，允許將電離真空計再烘烤一次，然后進行測定。測試完畢，先關閉超高真空電離計和復合真空計，再關閉電爐，并移離擴散泵，讓機械真空泵通大氣后關閉，約30min后，關閉冷卻水。

2、結果與討論

　　2.1、除氣對極限真空測試結果的影響

　　在真空測量中，為了使真空計的金屬零件及玻殼吸附和吸收的氣體在低壓空間釋放出來不影響測量結果，測量前需預先對測量真空計和被測

　　系統進行加熱，以驅逐固體材料吸附和吸收的氣體。此步驟稱為/除氣0或/去氣0，對高真空測量十分重要。

　　另外，除氣時間也應嚴格按照操作規定控制，以消除因除氣時間不夠、除氣不徹底帶來的測試誤差。

　　2.2、擴散泵冷卻循環水溫對極限真空測試結果的影響

　　表1是冷卻循環水水溫對極限真空測試結果的影響。

表1 冷卻循環水水溫對274擴散泵油極限真空測試結果的影響

　　由表1可以看出，在其它條件基本相同的條件下，冷卻循環水溫度高，則極限真空結果偏高。本院地處南方，氣溫較高。冬天室溫在0℃以上，加上電爐加熱，使室溫都在10℃以上，所以不必采取任何措施。夏天則必須采用冷凍鹽水，使冷卻循環水出口溫度低于25℃。

　　2.3、冷阱對極限真空測試結果的影響

　　表2是采用同一批樣品測試極限真空時，電離真空計使用冷阱與否對測試結果的影響。

表2 冷阱對極限真空測試結果的影響

　　由表2可以看出，電離真空計使用冷阱條件下測得的極限真空比不用冷阱條件測得的極限真空低，但偏差不大；因此，測試極限真空時，電離真空計可不使用冷阱。

　　2.4、環境溫度對測試結果的影響

　　環境溫度對測試結果也是一個極其重要的影響因素。本院的極限真空測試裝置自建立至今，已測試了相當多的樣品，從中發現一個規律:每到夏天，環境溫度太高時，樣品的極限真空便不合格；而其它季節，環境溫度在25℃以下時，樣品的極限真空合格率則大大增加。環境溫度對極限真空測試結果的影響見表3。

　　由表3可以看出，在其它條件基本相同的條件下，環境溫度太高時，274、275超高真空擴散泵油的極限真空測試結果偏高，根據企業標準，274超高真空擴散泵油的極限真空[1@10-5Pa、275超高真空擴散泵油的極限真空[7@10-7Pa為合格，所以環境溫度太高會導致產品不合格。

表3 環境溫度對極限真空測試結果的影響

　　為了降低環境溫度，我們特意安裝了一臺空調，將室溫控制在25℃以下。用批號為99-3-1的274超高真空擴散泵油樣品做對比實驗，測試結果見表4。

表4 環境溫度對極限真空度測試結果的影響

　　由表4可以看出，使用空調后雖使環境溫度下降(低于25℃)，但極限真空的結果仍偏高，不合格。

　　造成這一現象的原因主要有兩個:一是冷熱空氣對流影響了極限真空的測試結果；二是來自空調機的部分空氣分子經壓縮后成為離子，此離子流對測試結果有影響。由電離規管工作原理可知，極限壓力p正比于所測得的離子流；由于空氣分子形成的離子流使所測離子流增大，因而導致極限真空的測試結果偏高。

　　若采用冷凍鹽水冷卻降溫，使環境溫度低于25℃，可同時消除上述兩種因素的影響，提高274、275超高真空擴散泵油極限真空測試結果的準確性。

3、結論

　　除氣是極限真空測試的關鍵，徹底除氣是準確測試極限真空的前提條件。將冷卻循環水溫度控制在10~25℃時，可使極限真空的測試結果重復性較好。電離真空計使用冷阱后，所測得的極限真空降低，但結果偏差不大，可不用。環境溫度過高，會使極限真空的測試結果偏高，達2個數量級；所以應將環境溫度控制在10~25℃。使用空調機使室溫降至25℃以下，卻未能使極限真空測試結果有所下降，仍不合格，因此建議使用冷凍鹽水降低環境溫度。