擴散泵抽氣系統常見的故障及其排除措施如下（同時參見表15）：

　　(1) 如果擴散泵抽氣系統不漏氣，而系統的極限壓力卻一直達不到預想的結果，則可能是系統設計不合理，有效抽速低；或真空規電極放氣和真空規本身受光電流的限制，測不出低壓力。

　　(2)如果在長時間使用后，擴散泵或機組的抽氣性能逐漸變壞，即極限真空度和抽速降低，而其它情況正常，則主要是擴散泵油逐漸氧化，質量變壞。這時，應更換新擴散泵油。換油步驟為：先把擴散泵卸下，取出泵芯，按要求將泵芯清洗烘干后正確裝配并加新油。

　　(3)由于特殊原因，如真空規管炸裂，誤開真空容器放氣閥或未關閉高真空閥等，使擴散泵內突然漏進大氣時，應立即關閉高真空閥門，停止擴散泵加熱并強迫油鍋冷卻。消除故障后，應作抽氣試驗，并根據其結果判斷是否需要更換擴散泵油。

　　(4)擴散泵經拆裝接入系統后，如果系統一切均嚴格按前述操作程序進行抽氣的話，則應該能達到泵原極限壓力；如果仔細反復調整各噴口間隙，真空度還應有所提高。如果真空度抽不上去，則首先檢查該泵所在系統的漏氣率是否超過允許值；同時檢查擴散泵的加熱器是否燒斷、供電電壓是否正常、泵的冷卻是否正常。如果上述方面一切均正常，則可認為是泵芯裝配方面的問題，如裝歪、噴嘴間隙不對、泵芯在裝配前未清洗干凈、有機溶劑未烘干、泵油不夠或裝入了質量不好的泵油及加熱功率調整不正確等。

　　(5)如果擴散泵的工作一直正常，而且也不是動了系統而使某處漏氣，而使機組的抽氣性能突然變壞，則可能是擴散泵電爐絲斷了或保險絲斷了，應及時檢查更換。

　　(6)如果前級泵工作不正常或抽氣容量不夠，也會使擴散泵工作不正常。

　　(7)環境溫度、濕度、冷卻水溫度等使用條件對擴散泵的抽氣性能影響也較大。例如，當環境溫度過高（超過35℃）時，擴散泵性能即開始降低。

　　(8)擴散泵加熱功率調整得不正確，也可使擴散泵的工作狀態不正常。調加熱功率時，最好能找到返油率最低點的合適溫度。

　　(9)油蒸氣返流污染系統，也可使系統得極限壓力達不到預期結果，可參照真空技術網前文采取措施加以改進。

表15 油擴散泵抽氣系統常見故障及排除方法