常用氣鎮裝置的結構與安裝位置

2013-06-04 真空技術網 真空技術網整理

  最簡單常用的氣鎮閥結構如圖所示。一般均由調節件與逆止閥兩部分組成。調節件用來控制摻入的氣體量。逆止閥是用來防止泵腔內的混合氣體壓力高于摻氣壓力時出現返流。另外一些較常用的氣鎮閥結構就不列舉出來了。

旋片式真空泵常用氣鎮裝置結構圖

圖:旋片式真空泵常用氣鎮裝置結構圖

  氣鎮孔的位置的設置一般有兩種形式:

  a、在泵的排氣口附近

  當壓縮腔與排氣口相通時,開始摻氣,一直到泵腔內部壓力和外界摻氣壓力相等為止。

  b、氣鎮孔設置在端蓋上

  摻氣開始與終了是受轉子的端面控制的。氣鎮孔越早接通泵腔,摻氣時間就越長,摻氣量也就可能大一些。但是為防止摻入的氣體直接進入被抽容器中,必須在壓縮腔與吸氣口隔絕時,才能接通氣鎮孔。所以,端蓋上的氣鎮孔是在吸氣終了以后,轉子再轉過一個角度(10°~15°)時,才開始露出來進行摻氣。

  對雙級旋片式真空泵氣鎮泵(不論高真空級和低真空級做成等容積或不等容積),氣鎮孔均設置在低真空級上。

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