螺桿式無油機械真空泵的結構原理
2020-05-03 真空技術網 真空技術網整理
螺桿式無油機械真空泵是利用齒輪傳動同步反向旋轉的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內 ( 柱形等螺距 ) 進行傳輸運動，但無壓縮，只有螺桿最末端的螺旋結構對氣體有壓縮作用。
螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉速對泵的性能有很大影響。在設計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環境 ( 如抽除含粉塵氣體等 ) 等。該泵與羅茨真空泵一樣不設排氣閥。
圖25：螺桿式機械真空泵
圖 25 為日本橙山工業株式會社的 SDV-1500 泵的結構示意圖。泵是立式結構，進氣口在上方，排氣口在中部，下部為電機和潤滑油池。螺桿轉子呈中空形，為懸臂支承結構。同步傳動齒輪位于軸承支座下面。變頻電機通過聯軸節與主動轉子連接。該泵的氣體路徑較短，且立式結構對排除含微塵氣體較為有利。泵外殼有水冷卻，泵維修也便利。
這種類型的泵如果選用適當的較簡單螺桿牙型截面，則制造簡單，可保證很高的加工精度，且容易動平衡。
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