渦輪分子泵的應(yīng)用特點(diǎn)

2020-05-03 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

　　1、工作壓力范圍寬，在 10-1 ～ 10-8 pa 范圍內(nèi)具有穩(wěn)定抽速；

　　2、起動(dòng)時(shí)間短，能抽除各種氣體和蒸氣；

　　3、分子泵適用于在要求清潔的高真空和超高真空的儀器及設(shè)備上使用。

　　也可用來作為離子泵、升華泵、低溫泵等氣體捕集超高真空泵的前級預(yù)抽真空泵使用，這將獲得更低的極限壓力或更清潔的無碳?xì)浠衔锏恼婵窄h(huán)境。

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