影響滑閥泵有效抽氣速率的主要因素
間隙是影響滑閥泵有效抽速的主要因素。滑閥泵是一種變?nèi)菔?a href="http://shengya888.com/pumps/">機械真空泵,滑閥泵在進氣口壓力較高的時候,返流對泵抽速的影響很小,泵的抽速略小于泵的理論抽速;當進氣口壓力較低時,返流對泵抽速的影響增大,此時泵的抽速明顯減少。
對于單級滑閥泵,間隙的大小直接影響單級滑閥泵的抽速。在相同進氣壓力情況下,間隙越大,則間隙的流導越大,泵的抽速損失越大,泵的實際抽速越小;由于間隙的流導隨進、排氣壓差的增大而增大,所以間隙對抽速的影響隨進氣壓力的降低而增大。
對于雙級滑閥泵,高缸間隙的大小直接影響雙級滑閥泵的抽速。在相同進氣壓力情況下,高缸間隙越大,間隙的流導越大,高缸的抽速損失越大,泵的實際抽速越小,并且間隙對抽速的影響隨進氣壓力的降低而增大。根據(jù)氣體連續(xù)方程,雙級滑閥泵在抽氣過程中有以下關(guān)系:
Q=S 低×P 低=S 高×P 高
式中Q —— —雙級滑閥泵實際抽取的氣體流量
S 低—— 雙級滑閥泵高缸的實際抽速
P 低—— 雙級滑閥泵低缸的進氣壓力
S 高—— 雙級滑閥泵高缸的實際抽速
P 高—— 雙級滑閥泵高缸的進氣壓力
假定低缸進氣壓力P 低不變,將低缸間隙加大,則低缸的抽速損失隨之增大,低缸的實際抽速S 低減少,泵的實際抽氣量Q 減少。從而我們先假設(shè)高缸進氣壓力P 高不變,由于Q 減少,則高缸抽速S 高變小;或者我們假設(shè)高缸抽速S 高不變,由于Q 減少,則高缸進氣壓力P 高降低,高缸進、排氣口壓差(P 低- P 高)加大,進而導致高缸抽速損失增大,高缸實際抽速S 高減少,這與假設(shè)矛盾,所以在此種情況下,高缸的實際抽速S 高必然減少。隨著低缸進氣壓力P 低降低,由低缸間隙流導造成的低缸的抽速損失隨之增大,則高缸的抽速損失增大;同時隨著低缸進氣壓力P 低降低,高、低缸之間的壓縮比P 低/P 高不斷增大,從而使得這種影響進一步加強。從而我們可以得出這樣一個結(jié)論:低缸間隙的大小會影響雙級滑閥泵的抽速,低缸間的流導越大,泵抽速損失越大,泵的實際抽速越小,并且低缸間隙對抽速的影響隨進氣壓力的降低而增大。在雙級滑閥泵抽氣過程中,高缸的氣體壓力總小于低缸的氣體壓力,則高缸返流的氣體的分子自由程長,低缸的短,所以低缸的間隙更容易造成氣體返流,對本級的抽速影響更大。同時,由于低缸的進氣壓力總是大于高缸的進氣壓力,使得在返流造成相同的抽速損失的情況下,低缸的抽速損失對雙級滑閥泵實際抽氣量Q 的影響更大。事實上,國外的雙級滑閥泵更注重控制低缸的間隙。
綜上所述,為了降低滑閥泵的抽速損失,間隙應(yīng)是越小越好,對于雙級滑閥泵,高、低缸的間隙控制都重要。控制間隙是滑閥泵獲得好的抽速曲線的根本。
潤滑油對滑閥泵的抽速影響很大。在滑閥泵整個吸、排氣過程中,潤滑油進入泵腔對泵腔內(nèi)的運動件起到潤滑和密封作用,潤滑油密封效果的好壞直接影響泵的抽速。溶于潤滑油的被抽氣體在低壓時釋放出來,會影響滑閥泵吸氣過程中有效的氣體吸入量,從而影響滑閥泵的抽速,進油量越大影響越明顯,并且隨著滑閥泵進氣壓力的降低而增強,在進氣壓力接近極限壓力時最為明顯。進油量會影響泵的抽速。
泵體的溫度也會影響泵的抽速。泵溫上升,泵內(nèi)的氣體受熱膨脹,從而減少滑閥泵有效的氣體流量,使泵的抽速減少。通常情況下一般滑閥泵的溫度控制在60℃以下。