在抽氣過程中，塵埃飛揚主要發生在剛開始抽除大氣的高壓力范圍內，為此我們可以從真空系統的結構和操作方面采取措施防止和減少塵埃的產生。

         從抽氣機組泵的配置考慮，目前能夠抽大氣的大抽速真空泵主要有往復泵、水環泵、旋片泵和滑閥泵，其中能直接在塵埃條件下工作的只有水環泵，因此在有塵埃系統中用水環泵預抽大氣是比較好的方法。真空機組的配置可以是: 水環泵+ 羅茨泵+ 滑閥泵，其結構簡圖如圖32（a）所示。在多機組的應用場合，甚至可以考慮共用一臺大抽速水環泵。

（b）用可調孔板或閥門控制系統起動時抽速

1. 被抽容器 2. 過濾器 3. 羅茨泵 4. 滑閥泵 5. 水環泵 V1～V4.閥門 V5．可調閥門

圖32 含塵真空系統結構簡圖

         從操作來說，在抽大氣時適當減小系統抽速有利于防止塵埃的飛揚，例如圖32（b）所示的系統結構，在被抽空間與泵之間設置可調閥門或可調孔板等以限制抽速。控制起始抽速，隨著系統壓力的下降，逐步打開閥門或孔板以增加抽速，這種方法簡便有效。但降低起始抽速會延長抽氣時間，可根據被抽容器的容積、真空泵的抽速及起始抽速下降的程度，一般會延長數分至數十分鐘。在對抽氣時間略有延長可以允許的應用場合，這是一種較好的操作方法。