低溫泵
推薦集成電路制造中低溫泵的應(yīng)用及產(chǎn)品發(fā)展現(xiàn)狀
本文介紹了國(guó)內(nèi)集成電路制造中進(jìn)口低溫泵產(chǎn)品的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀，并對(duì)比了不同產(chǎn)品的技術(shù)特點(diǎn)。闡述了國(guó)產(chǎn)低溫泵進(jìn)軍集成電路制造業(yè)的歷程與現(xiàn)狀。
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低溫泵故障對(duì)低溫泵抽氣性能的影響
氦氣的壓力不足時(shí)會(huì)影響低溫泵的制冷效率，低溫泵的噪音只出現(xiàn)在低溫泵處于低溫時(shí)。此時(shí)極有可能是低溫泵的氦氣受到污染, 需要進(jìn)行除污染程序。
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氦氣壓縮機(jī)的泄漏對(duì)低溫泵抽氣性能的影響
氦氣壓縮機(jī)潤(rùn)滑油的泄漏和氦氣壓縮機(jī)的氦氣泄漏會(huì)導(dǎo)致低溫泵氦氣的壓力持續(xù)降低, 最終會(huì)影響低溫泵的抽氣性能。
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