低溫泵
推薦集成電路制造中低溫泵的應用及產(chǎn)品發(fā)展現(xiàn)狀
本文介紹了國內(nèi)集成電路制造中進口低溫泵產(chǎn)品的技術發(fā)展現(xiàn)狀，并對比了不同產(chǎn)品的技術特點。闡述了國產(chǎn)低溫泵進軍集成電路制造業(yè)的歷程與現(xiàn)狀。
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基于MC的差分式低溫泵人字形擋板結(jié)構(gòu)分析
差分式低溫冷凝泵主要用來維持EAST-NBI內(nèi)的真空環(huán)境，以滿足中性束生成與傳輸過程對真空壓力分布的要求。人字形輻射擋板吸收高溫壁面的輻射熱，冷卻到達低溫冷凝板的氣體。
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EAST-NBI用差分式低溫冷凝泵的設計
概述了中性束注入加熱的原理以及EAST-NBI真空系統(tǒng)的組成, 詳細闡述了EAST-NBI用差分式低溫冷凝泵的結(jié)構(gòu)設計, 抽速和冷凝面積的確定, 液氦系統(tǒng)和液氮系統(tǒng)熱負荷的計算等關鍵問題。
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內(nèi)置式深冷泵抽速計算及數(shù)值模擬研究
基于全艙布泵概念設計的內(nèi)置式深冷泵是真空羽流效應實驗中維持真空艙內(nèi)動態(tài)真空度的關鍵設備。對基于麥克斯韋速度分布假設的內(nèi)置式深冷泵抽速計算公式分析發(fā)現(xiàn),該式不適用于帶噴流的空間發(fā)動機羽流實驗艙內(nèi)的動態(tài)真
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