介紹了用于大口徑低溫泵的R65制冷機的結構設計，回熱器的設計及材料的選擇，以及制冷功率及可靠性測試的試驗結果。

　　大口徑低溫泵廣泛應用在半導體、平板顯示、光學鍍膜、卷繞鍍膜、真空釬焊爐等，具有對各種氣體抽速大，水蒸汽分壓低的顯著特點，是生產效率最高的高真空獲得設備，在美國、日本、韓國已經普及應用。低溫泵的”發動機”是制冷機，真空技術網(http://shengya888.com/)認為結構簡單的G-M 制冷機已經成為低溫泵用制冷機的主流，其理論分析和設計計算方法不斷完善。

　　優拓低溫公司首期推出的400、500 口徑低溫泵配備自產R65 制冷機，經過20000h 的不間斷運行，達到了設計指標。設計目標：

　　a、制冷功率77K/20K 溫度下，1、2 級功率70W/7W；

　　b、平均無故障運行時間30,000h。

1、熱力計算及基本結構

　　根據現有理論，針對設計目標，對制冷機的理論制冷量以及各種冷量損失分析，結合過去十年的試驗數據，選定制冷機結構參數如下：

表1 R65 制冷機結構基本數據

2、結構設計

　　G-M 制冷機結構分為5 個單元：氣缸、回熱器、動力和傳動機構、動密封、時序控制機構。

　　氣缸是氦氣工質絕熱膨脹和對冷頭冷卻的裝置，同軸度要求極高，加工難度最大。回熱器是實現冷、熱流體間周期性換熱的任務，其特點是冷、熱流體交替的流經同一流道，通過和回熱填料的直接接觸實現熱交換。

　　動力和傳動機構承擔了將圓周運動轉換為直線往復運動，驅動回熱器周期性熱交換，同時驅動閥時序機構。

　　動密封作用是強行促使氦氣流經回熱器內部，把膨脹室和進氣室分開，防止氣流短路，從而實現換熱效率最大化。時序機構即控制進、排氣閥門按照一定時序開關的機械裝置，結構簡單，但是必須時序控制準確，才能保證最大制冷功率。

　　這里我們重點闡述回熱器的設計。回熱器是制冷機的核心部件，承擔冷、熱工質間周期性換熱任務，俗稱蓄冷器。R65 采用填料式回熱器，具有體積比熱容大，換熱面積大，流阻小，結構簡單、緊湊，換熱效率高。

　　在交變流動過程中，回熱器內流體和填料的溫度都是位置和時間的函數，經過多次冷吹和熱吹期變換后，回熱器達到穩定工作狀態，此時回熱器任意位置的溫度都隨時間呈周期性變化，流動和傳熱非常復雜，設計非常困難。

　　2.1、材料選擇

　　活塞體常見材料是環氧樹脂和夾布膠木，夾布膠木比較柔軟，和氣缸摩擦而不至于損壞氣缸，但是在液氮溫區尺寸難以控制，大氣下吸潮，而且存在內部應力。環氧樹脂材料常溫下尺寸穩定，不吸潮，但是低溫下尺寸收縮是夾布膠木的3 倍。

表2 相對于293K 的線收縮率104*(L293K-LT)/L293K

　　R65采用環氧樹脂作為活塞體材料, 以確保尺寸的可重復性和可控性。

　　2.2、填料材料

　　1級采用150 目磷青銅網，2 級采用0.15-0.2mm 鉛球。圖1 可以看出鉛在60-15K 溫區的比熱容比銅大許多，因而作為2 級回熱器的填料材料。為了降低制冷機的回熱器損失、穿梭損失、軸向導熱損失以及空容積損失，需要嚴格控制回熱器和氣缸的徑向、軸向間隙，由于缺乏理論計算數據，只有通過大量的試驗確定最佳尺寸公差。優拓經過2 年多的反復試驗、測試，最終確定了回熱器尺寸公差，在制冷功率測試以及噪音、震動測試時驗證了這些公差的合理性，從而保證制冷機安靜、無摩擦的運行30000h 以上。

圖1 常見材料體積比熱容

　　2.3、填料體積的選擇

　　回熱器內填料體積對于制冷機的效率至關重要，過小體積，高低壓氣體不能完全換熱，增加軸向導熱損失，過大的體積導致流阻變大，空容積損失增加。

　　選擇合適的填料體積是設計回熱器的關鍵參數之一。

　　經過理論計算，填料體積/ 冷腔容積之比和蓄冷器損失的函數關系如圖2。

圖2 填料體積/ 冷腔容積之比和蓄冷器損失的函數關系

　　比值在3.0-4.7 之間回熱器損失最小。在實際填充過程中，統計了大量不同填充量的試驗結果，充分驗證了這一計算的準確性。

3、試驗

　　制冷機冷頭加裝RhFe 電阻溫度計， 美國Lakeshore 公司標定產品，四線法測量，測量精度：±10mK，336 溫度控制儀顯示，計算機實時采集。制冷量的測量在冷頭上加裝加熱器，四線法測量電壓和電流，從而避免兩線法導線的功耗和加熱器電阻隨溫度變化產生的誤差。

　　制冷機降到底溫后，給加熱器輸入一定功率，待溫度穩定后，讀出加熱器電流和電壓，計算加熱功率，這一功率就是在該穩定溫度下的制冷功率。R65 制冷機的額定制冷功率為：70W/7W@77K/20K。

圖3 制冷功率測試臺

4、平均無故障運行時間MTBF測試

　　由于制冷機是圓周運動轉直線往復運動，屬于不平衡運動，如果機械結構設計不合理，很容易發生回熱器和氣缸內壁的摩擦，造成震動和異響。同時制冷機內相互配合的材料：不銹鋼、銅、鉛、塑料件的收縮率不同，在低溫下的尺寸和常溫下存在很大不同，這也是設計時必須考慮和反復驗證的。尤其是2 級密封在液氮溫區工作，由塑料密封環和漲環組成，漲環材料必須可以忍受高、低溫的沖擊而不會產生塑性形變和彈性降低，這對材料和加工精度提出很苛刻的要求。

表3 R65 實測制冷功率

　　影響MTBF 的因素：

　　a、壓縮機的濾油系統必須供給制冷機的工質純度在99.95%，確保填料的清潔度從而保證換熱效率；

　　b、動密封摩擦系數適合， 磨損壽命大于30000 小時；

　　c、其它機械零件如軸承、軸套、連桿的配合有合適的公差范圍，避免單個零件受力過大，造成機械磨損。

　　平均無故障運行時間的測試分2 步驟，首先制冷機在實驗室開啟，連續運行10000h，計算機自動定期記錄冷頭溫度，其中每2000h，停機打開制冷機，觀察內部有無污染物，檢查密封件的密封性。

　　10000h 后裝配成低溫泵，在實驗室和客戶端連續運行至今，總計運行超過20000h，溫度穩定，特別是濺射時加載500sccm 氬氣時T2≤15K，制冷機運行安靜。

5、小結

　　和真空技術一樣，低溫技術處于飛速發展階段，市場各種新的應用對新型制冷機提出各種新的要求，比如：脈管式、4K 制冷機、大功率單級制冷機。真空技術網(http://shengya888.com/)認為回熱器始終是這些制冷機的核心部件，功能完善的試驗設備是研發高效回熱器的關鍵，只有通過大量的試驗數據總結，結合理論計算才能保證研發的效率。

　　低溫材料很多是特殊材料，也有很多特殊加工工藝，這些材料、加工的采購不必拘泥于國產，實現全球采購。

參考文獻

　　[1] Gifford W E.The Gifford-Mcmahon Cycle[J].Advances inCryogenic Engineering，1966.

　　[2] 陳邦國，湯珂.小型低溫制冷機原理[M].北京：科學出版社，2010.