(1) 氦氣壓縮機潤滑油的泄漏故障現象：

       氦氣壓縮機內部有潤滑油泄漏故障分析和排除: 氦氣壓縮機由機械部件組成, 為了保證運轉的正常需要對運動部件進行潤滑油潤滑。潤滑油會與從低溫泵中回來的氦氣混合后進入壓縮機的泵體。通過泵體壓縮后, 出來的是高溫高壓帶有潤滑油的氦氣。通常壓縮機漏油分兩種情況: 第一種是壓縮機經過多年的連續運轉后, 密封件老化, 造成泄漏。第二種是由壓縮機的安全閥引起的。在壓縮機的管路中裝有一個黃色銅制安全閥, 當壓縮機內部的壓力超過一定數值時, 安全閥被推開, 高壓的潤滑油與氦氣的混合物噴出, 造成漏油。

        因此, 壓縮機的潤滑油泄漏分為密封件老化泄漏和安全閥打開泄漏。這兩種情況都是不能完全避免的。而低溫泵系統通常是放在潔凈室內,不可以有任何泄漏污染工作環境。所以通常建議將低溫泵和壓縮機分開放置, 即將壓縮機放置到潔凈室的外面, 以防萬一。

(2) 氦氣壓縮機的氦氣泄漏：

        故障現象: 在壓縮機經過長期運轉后, 壓縮機內的氦氣壓力會有所降低。故障分析和排除: 這可能是由于兩種原因造成的。第一、在每次拆裝氦氣管路時, 會損失一定的氦氣。氦氣管路的接頭為自密封型, 理論上每次拆裝只會有2 毫升的氦氣損耗。但實際操作時, 有時會聽到漏氣的聲音, 此時就有可能泄漏較多的氦氣。這種情況只需補充氦氣即可。第二、氦氣系統泄漏。氦氣系統的泄漏會造成氦氣的壓力持續降低, 最終會影響低溫泵的抽氣性能。這時需要使用帶有嗅探器( Sniffer) 的氦氣檢漏儀對整個低溫泵系統進行測漏。排除漏點后, 對壓縮機補充氦氣。

      因此, 為了避免氦氣的泄漏, 通常盡量避免對氦氣管路進行頻繁拆裝。在氦氣壓縮機運轉多年后, 應對密封件進行更換, 特別是各電磁閥處的密封墊圈。