電真空器件的氦檢漏前的準備工作

2014-09-04 李麗萍高功率微波源與技術重點實驗室

1、真空檢漏時的環境要求

　　最佳操作溫度：15~30 ℃，濕度≤70 RH。檢漏環境要清潔且通風良好(消除空氣中氦含量，氦濃度太高，儀器輸出氦信號不穩定)，氣流平穩，不得有強電磁干擾和強烈振動，現場需備有溫濕度和大氣壓力監測裝置。

2、抽氣口檢漏臺

　　根據電真空器件結構特點和承載要求，設計加工合理的檢漏臺(見圖2)，與檢漏儀自帶檢漏口密封連接。圖3 為所設計檢漏臺的三維圖。被檢工件可借助密封模具置于檢漏臺3 上，檢漏口1用橡膠塞密封，通過檢漏口2 抽真空后即可檢漏。對于重量超載或少數特殊結構不能置于檢漏臺上的零部件，可通過檢漏口1 進行氣密性檢測。即采用真空橡膠管連接檢漏口1 與被檢件，檢漏口2用盲板或橡膠塞密封，檢漏儀抽真空后可對被檢工件進行檢漏。所設計檢漏臺承重≤30 Kg，可使具有不同尺寸的被檢件配合使用不同口徑、不同形狀的密封模具進行抽真空密封，從而實現真空氣密性檢測。

氦質譜檢漏儀結構簡圖

圖2 氦質譜檢漏儀結構簡圖

檢漏平臺三維圖

1，2.檢漏口；3.檢漏臺；4.三通

圖3 檢漏平臺三維圖

3、儀器校準和靈敏度測試

　　GB/T13979 要求對儀器進行校準，校準漏孔每隔一定的周期需送到計量機構重新標定，送檢周期不超過2 年。ASM192T2 氦質譜檢漏儀出廠缺省值的內部自動校準設為ON，因此，該檢漏儀開機時就進行自動校準，如校準失敗，則需檢查故障原因，排除故障。如果在使用中發現檢漏儀反應能力欠佳也需及時進行校準，但當復校最小可檢漏率增大到最小可檢漏率的65%以上，或正常操作調整后指示值仍低于校準漏孔的標稱值時，說明檢漏儀的靈敏度下降。漏率的讀數偏低，檢漏儀應進行清洗、修理或重新標定。

　　目前，氦質譜檢漏儀常用的參考漏孔是薄膜滲氦型漏孔，一般用10^-8 Pa·m³/s 量級標準漏孔來校準10^-10 Pa·m³/s 低量級的漏率。如果用寬范圍內不同量級的校準漏孔與檢測到相同量級的漏率來進行校準，檢漏的定量結果更加可靠[5]。但是，固定漏率的滲氦型漏孔只能對儀器本身進行靈敏度校準，即反映一種儀器、方法或一套系統在特定條件下所能檢測到的最小漏率，也就是檢漏靈敏度。而實際檢漏中所能達到的檢漏水平不僅僅依賴于儀器本身，真空技術網(http://shengya888.com/)認為還與被檢系統以及檢漏方法有著很大的關系。

　　例如，當采用分流泵或累積法時，最小可檢漏率就會隨之變高或變低。因此，有必要區分開檢漏儀本身的靈敏度校準和檢漏靈敏度校準。檢漏靈敏度qmin 是指氦質譜檢漏儀和檢漏系統在具體的工作條件下，純示漏氣體通過漏孔時氦質譜檢漏儀所能檢出的最小漏率。在進行漏率測試時，采用標準漏孔標定系統檢漏靈敏度。檢漏靈敏度測試qmin 可通過如下公式計算：

檢漏靈敏度測試qmin