本節主要介紹運動以外的物理量,比如光,電磁波,電力等,從大氣中導入真空或從真空中導入大氣的方法。因為要通過大氣和真空之間的窗口,因此需要在窗口安裝相應的部品,我們稱之為導入器。根據作用不同,又可分為光導入器,電力導入器等。

１.光導入器

    能使光通過且能封閉真空的材料被稱為光導入器。考慮到大氣壓和真空一側的差壓,1kg/cm2的壓力會產生在光導入器上,如果使用普通玻璃,當面積較大時,可能會發生玻璃破損的事故。現在用于超高真空設備的光導入器所用的材料有硬質玻璃,藍寶石,石英等。

    這些材料對于光的透過率如圖1所示。特別是要保證紫外線的透過,而且要檢測真空內發出的光的情況下,主要應用藍寶石窗。

２.電力導入器

    從大氣壓環境中向真空腔體內導入電力或微小信號所用的導入器,也被稱為導入端子。絕緣部分用Al2O3,導體部分用銅的導入端子被廣泛使用。大電流導入時可達400A,微小信號時可用BNC同軸端子,多針形端子可含有48個接頭。

    導入端子的弱點在于機械強度較弱。下圖是超高真空用的代表性導入端子。

    多節點電流導入端子。大電流導入端子,高頻電流導入端子。