為什么必須要真空?
現代社會從收音機到攜帶電話,計算機及電視都離不開集成電路,而集成電路的生產和發展都離不開真空。
水蒸氣遇冷會變成水滴。如果不是水蒸氣而換成鋁或其他材料,則同樣原理就是真空鍍氣。高真空中通過加熱使鋁蒸發,鋁蒸氣飛到目標表面而成膜。如果不是在真空狀態,則鋁會燃燒起來。
用久的螢光燈兩邊會發黑,這是濺射成膜的現象。惰性氣體Ar在燈管中經過放電而成離子狀態。高速的Ar離子撞擊其他材料后使其蒸發。濺射成膜法不利用加熱而是利用使氣體分子離子化而完成。
除此之外,通過各種氣體的化學反應而成膜(CVD)的方法也被廣泛使用。各種成膜方法各有特長,要根據需要而定。
真空狀態不僅僅被利用于成膜方面,精密形成的薄膜上沾了灰塵或油滴之后會出現嚴重的后果。集成電路中細線的寬度是吸煙時吐出的煙霧顆粒的1/3, 是一顆灰塵的近萬分之一。對集成電路而言,哪怕一顆煙霧的顆粒,就好象大路上停了一架大型飛機一樣,無法通過或造成短路。為了不讓灰塵落到正在生產的集成電路上,需要真空環境。
科研領域更是離不開真空。宇宙開發方面,為了模擬宇宙空間,當然需要真空狀態。人造衛星,火箭的生產也需要真空。觀察原子的顯微鏡如果不是在真空狀態就無法觀測到物質的表面。物理學中最先端的粒子加速器中的粒子,在超高真空狀態中被加速到接近光速。