石英晶振的諧振頻率在出廠前需要進行微調，使之達到需要的標稱值。傳統微調采用蒸發鍍膜法，存在一致性和膜層可靠性差的問題。本研究把激光微加工技術應用于該領域，利用激光使電極膜層汽化減薄，從而使晶振的頻率升高到預期值。本文重點研究了激光器的工作電流和 Q脈沖寬度對晶振頻率微調的影響。

　　對標稱頻率為 10MHz 的石英晶振進行激光調頻實驗，當激光器工作電流為 11A，激光脈沖寬度為 8μs 時，晶振的頻率調節量與刻蝕次數的關系如圖1所示，經 10 次刻蝕后晶振其他電性能參數變化如表1所示。

表1 刻蝕前后其它電性能參數的變化

　　類似地，分別固定激光器工作電流，調節激光 Q 脈沖寬度或固定激光器 Q 脈沖寬度，調節激光器工作電流進行調頻實驗后發    圖1 調頻量△f 與刻蝕次數n關系現如下規律：

圖 1  調頻量△f 與刻蝕次數 n 關系

　　（1） 若工作電流比較小或Q脈沖寬度比較大時（本研究中電流小于 10A或Q脈沖寬度大于 10μs） ，激光脈沖的峰值能量達不到銀的刻蝕閾值，無法對晶振頻率進行有效微調。

　　（2） 增加工作電流或減小Q 脈沖寬度能提高激光脈沖的峰值能量，當激光脈沖能量達到一定值時（本研究中電流為 11A、Q 脈沖寬度為 4μs～8μs） ，頻率微調量與刻蝕次數近似呈線性關系，微調量易于控制且刻蝕后晶振其它電性能參數變化不大。在該條件下，總調頻量分布在7.96ppm～9.24ppm 之間，刻蝕參數的變化對頻率調節量影響不大，而且刻蝕后電極膜完整無損，石英晶體也沒有因為激光的熱效應而發生相變。

　　（3）若工作電流過大或 Q 脈寬過小時時，激光峰值功率密度過大，電極膜層很容易被損傷而導致晶振不能起振。

　　 （4）相對于 Q脈寬，電流的變化對刻蝕效果影響更明顯，這是因為 Q 脈寬的減小對激光器的輸出功率影響不大，只是提高了激光脈沖的峰值功率，而電流的增加不僅提高了峰值功率，還增大了激光器的輸出功率。