“真空技術裝備國家工程實驗室”建設項目于2008年11月28日得到國家發改委正式批準，是目前我國真空領域唯一的國家工程實驗室。該項目建設期為兩年，項目法人單位是中科院沈陽科學儀器研制中心有限公司，共建單位是北京中科科儀技術發展有限責任公司，合作單位是中國科學技術大學和東北大學。項目法人單位與共建單位、合作單位此前已有多年的合作基礎，有利于該項目開展。

　　工程實驗室的主要功能是：為以潔凈真空技術為基礎的先進真空技術裝備發展提供共性技術創新的中間實驗驗證平臺；成為實現應用基礎研究與產業化有機銜接的橋梁和紐帶。建立工程實驗室，將在國家層面上構建真空技術裝備的技術創新和技術支撐體系，為集成電路、生物醫藥、高性能材料、重大科學裝置等重點產業發展提供支撐和服務，并為真空產業發展提供具有自主知識產權的長期的技術保障，滿足我國真空產業的長期發展以及國家戰略需求。

　　工程實驗室的主要任務是：通過建立超高真空、低噪聲、低污染的潔凈真空技術平臺（包括真空獲得技術與應用實驗平臺、真空應用實驗與驗證平臺、真空密封技術與應用實驗平臺3個專用子平臺和1個公共平臺），解決潔凈真空獲得、潔凈真空部件制備、潔凈真空密封等關鍵共性技術，滿足重點產業需求，使我國在真空領域有能力參與國際競爭。通過真空應用技術的突破，推進高端真空應用設備水平跨越2—3代。

 　　工程實驗室實行理事會領導下的實驗室主任負責制，首屆理事會理事單位包括：遼寧省發改委、沈陽市發改委、中科院計劃財務局、中科院高技術局、中科院沈陽科學儀器研制中心有限公司、北京中科科儀技術發展有限責任公司、中國科技大學、東北大學、沈陽真空技術所、北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限公司。

　　工程實驗室下設運營管理部、知識產權辦公室、標準化辦公室以及項目組。實驗室擁有一支實力雄厚、結構合理、具有國際影響的研究隊伍。項目將實施創新、開放、共贏的產學研長效合作機制，加快突破重點產業發展的瓶頸制約。