摘　要：與大連理工大學合作研制了新型Langmuir靜電探針.應用研制的靜電探針,對氬氣直流磁控濺射銅等離子體進行了軸向和徑向二維空間內的診斷.診斷結果顯示:電子溫度隨著離靶面距離增大而遞減;電子密度在徑向和軸向均存在波動;電子能量主要分布在0 eV～5 eV范圍內,高能電子占比例極少.

　　關鍵詞：直流磁控濺射;Langmuir靜電探針;等離子體;診斷

　　分類號：TN305.8　文獻標識碼：A

　　文章編號：1672-7126(2008)增刊-079-04

Langmuir Probe Diagnosis of DC Magnetron Sputtering Glow Discharge Plasma

Wen Peigang　 Yan Yue　 Wang Yonglin　 Wu Jianhua　 Zhang Guanli　 Zhang Dingguo　 Lu Wenqi　 Dong Chuang　 Xu Jun