納米氧化物薄膜的APCVD 法制備、微結(jié)構(gòu)與穩(wěn)定性

韓高榮 高 倩

(浙江大學(xué)硅材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室材料科學(xué)與工程系 杭州 310027)

　　摘要：根據(jù)中國(guó)建筑節(jié)能的需要, 針對(duì)高效節(jié)能鍍膜玻璃對(duì)膜層材料的不同要求，采用常壓化學(xué)氣相沉積法(APCVD)在浮法玻璃基板上沉積制備了摻氟氧化錫薄膜、氧化鈦薄膜等各類(lèi)節(jié)能功能鍍層。研究了反應(yīng)溫度和反應(yīng)氣體流量等工藝對(duì)功能薄膜的微結(jié)構(gòu)和玻璃節(jié)能性能的影響。利用X 射線(xiàn)衍射(XRD)儀、高分辨透射電鏡(HRTEM)、掃描電子顯微鏡(SEM)、四探針電阻儀、霍爾測(cè)試儀和分光光度計(jì)等對(duì)各類(lèi)薄膜的微結(jié)構(gòu)、形貌、以及光電性能進(jìn)行了分析，系統(tǒng)研究了熱處理溫度和時(shí)間對(duì)納米氧化物薄膜的微結(jié)構(gòu)和功能穩(wěn)定性的影響規(guī)律，得到了一系列有重要科學(xué)意義和實(shí)際應(yīng)用價(jià)值的結(jié)果。

　　根據(jù)浮法平板玻璃的生產(chǎn)技術(shù)和工藝特點(diǎn)，采用熱分解化學(xué)氣相沉積方法和金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積方法，通過(guò)多層復(fù)合，解決了功能復(fù)合薄膜的設(shè)計(jì)、制備、性能優(yōu)化等理論和實(shí)踐問(wèn)題，獲得了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的浮法在線(xiàn)玻璃鍍膜技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)低成本、大面積、大規(guī)模的工業(yè)化生產(chǎn)，成功地在浮法玻璃基板上制備出低輻射鍍膜玻璃等新型節(jié)能鍍膜玻璃，其輻射率、均勻性及可見(jiàn)光透射比和可見(jiàn)光反射比等指標(biāo)均達(dá)到國(guó)外生產(chǎn)的國(guó)際知名品牌的同類(lèi)產(chǎn)品性能，取得了重大的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益，推動(dòng)了中國(guó)玻璃行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步。