摘　要：利用射頻磁控濺射技術,在室溫下合成了具有納米調制周期的TiB2/TiAlN多層膜.分別采用表面輪廓儀、納米力學測試系統、多功能材料表面性能實驗儀和XRD,分析了調制周期對TiB2/TiAlN納米多層膜機械性能的影響.結果表明:大部分多層膜的納米硬度和彈性模量值都高于兩種個體材料混合相的值,在調制周期為25 nm時,多層膜體系的硬度超過了36GPa,性能達到較佳效果.

　　關鍵詞：射頻磁控濺射;TiB2/TiAlN納米多層膜;調制周期;硬度

　　分類號：O484　文獻標識碼：A

　　文章編號：1672-7126(2008)增刊-026-03

Modulation Period and Mechanical Properties of Nano-scaled TiB2/TiAlN Multilayered Coatings

Liu Sipeng　 Kang Yuanbin　 Wang Hui　 Li Dejun　 Deng Xiangyun

　　基金項目：天津市科技計劃國際合作項目(No.07ZCGHHZ01500)

　　作者簡介：鄧湘云,聯系人:Tel:022-237156519;Fax:022-23766519;E-mail:xiangyundtj@yahoo.com.cn

　　作者單位：劉思鵬(天津師范大學物理與電子信息學院,天津,300387)

　　亢原彬(天津師范大學物理與電子信息學院,天津,300387)

　　王暉(天津師范大學物理與電子信息學院,天津,300387)

　　李德軍(天津師范大學物理與電子信息學院,天津,300387)

　　鄧湘云(天津師范大學物理與電子信息學院,天津,300387)