直流磁過濾電弧源沉積氧化鋁薄膜的研究

　　彌謙，王昆，劉哲

　西安工業大學 陜西省薄膜技術與光學檢測重點實驗室

　　摘要：采用直流磁過濾電弧源技術制備氧化鋁薄膜，研究分析了薄膜制備中氧氣分量和陰極靶電流分別對薄膜折射率n、沉積速率和消光系數的影響；采用橢偏法對所制備薄膜的光學常數進行測試，沉積速率則通過薄膜厚度與沉積時間的計算得到。

　　實驗結果表明：薄膜折射率n、沉積速率和消光系數均隨著氧氣分量的增加而降低，而隨著陰極靶電流的升高而增加；分析主要是因為隨著氧氣分量和陰極靶電流的變化，基底表面鋁原子和氧氣比例發生變化，影響薄膜的相關性能。

　　關鍵詞：電弧源；氧化鋁；氧氣分量；陰極靶電流