油擴散泵的常見故障及原因
由于真空設備長期運轉及其它一些因素的影響,擴散泵的性能可能會逐漸變壞,現將使用中經常出現的一些問題如述如下;
1)極限真空變低,原因:
a.系統中有滲漏;
b.系統太臟;
c.泵油污染;
d.加熱功率不夠;
e.冷卻水不足;
f.過量或過冷的冷卻水;
g.前級壓力高;檢查密封性能及前級管道是否有泄漏現象;
h.快冷管內有水。
2) 抽氣較慢,原因:
a.加熱功率低;
b.油量不足;
c.噴帽安裝位置不當或受損。
3)進口壓力波動,原因:
a.加熱器輸入功率不當;
b.油脫氣;
c.擴散泵進口前面系統有滲漏。
4)工作腔污染大,原因:
a.前級壓力高;
b.在高于10-1Pa壓力下長期工作;
c.系統操作有誤。
5) 返油率過大,原因:
a. 頂噴嘴帽松動,間隙過大;
b. 加熱功率不對;