1、目的

　　通過對分子泵的了解，使操作使用人員，更好的維護(hù)設(shè)備，確保設(shè)備正常。

2、范圍

　　適合于ITO廠所有分子泵。

3、職責(zé)

　　設(shè)備維護(hù)人員按本作業(yè)指導(dǎo)書規(guī)定的內(nèi)容作業(yè)，保證分子泵的正確使用和維護(hù)。

4、內(nèi)容

4.1操作要求

　　4.1.1分子泵的氣路接口的快接法蘭的螺桿應(yīng)朝上，以防松弛造成漏氣;

　　4.1.2不能在大氣狀態(tài)下開分子泵，必須在達(dá)到10Pa時(shí)才能打開其相應(yīng)的高閥，開啟分子泵;

　　4.1.3當(dāng)M2(箱體2)或M7的真空度始終抽不到位時(shí)，應(yīng)檢查旋片泵的電磁閥工作是否正常;

　　4.1.4在開分子泵前必須打開冷卻水閥;在分子泵的葉輪停止運(yùn)轉(zhuǎn)后，必須關(guān)閉冷卻水閥;

　　4.1.5每次停機(jī)后，務(wù)必清潔各分子泵的進(jìn)氣口處，使其保持干凈，以避免不必要的損壞;

　　4.1.6當(dāng)出現(xiàn)報(bào)警信息“EF”時(shí)，應(yīng)檢查冷卻水路是否通暢，可用氣槍檢查。確保水路順暢后，方可再次打開分子泵。而當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號時(shí)，嚴(yán)禁再次啟動分子泵，待后處理;

　　4.1.7在分子泵出現(xiàn)問題而不能使用時(shí)，應(yīng)暫停生產(chǎn)，手動充大氣后，更換備用的分子泵;

　　4.1.8當(dāng)始終達(dá)不到分子泵啟動條件時(shí),應(yīng)檢查前級泵和電磁閥工作是否正常;

　　4.1.9當(dāng)分子泵出現(xiàn)故障時(shí),須根據(jù)故障提示作相應(yīng)處理。

4.2維護(hù)與保養(yǎng)

　　4.2.1一級保養(yǎng)

　　4.2.1.1經(jīng)常保持分子泵外殼的清潔;

　　4.2.1.2正常生產(chǎn)過程中須經(jīng)常檢查分子泵溫度,聽是否有異常震動和聲音;

　　4.2.1.3檢查分子泵油位是否正常;

　　4.2.2二級保養(yǎng)

　　4.2.2.1分子泵工作4000工作時(shí)以上或一年必須換油一次

　　4.2.3三級保養(yǎng)

　　4.2.3.1檢查泵的絕緣性能;

4.3注意事項(xiàng)

　　4.3.1分子泵油量

　　4.3.1.1分子泵油量應(yīng)處于油標(biāo)上下限之限之間，不得低于油標(biāo)下限，以保證軸承的良好潤滑，油標(biāo)為紅色標(biāo)志線。

　　4.3.1.2分子泵潤滑油采用不易裂變的低飽和蒸汽壓的專用分子泵潤滑油。潤滑油應(yīng)潔凈，嚴(yán)禁污物，雜質(zhì)和塵埃落入。必要時(shí)應(yīng)對潤滑油進(jìn)行過濾。

　　4.3.1.3更換潤滑油時(shí)，油池應(yīng)清洗干凈：第一次使用時(shí)，泵工作1000小時(shí)后，即應(yīng)更換;正常工作后。每工作4000小時(shí)即應(yīng)更換，即使工作時(shí)間不足4000小時(shí)，一年內(nèi)至少更換一次。如果泵經(jīng)常烘烤或大負(fù)載工作或抽除侵蝕性氣體，潤滑油充注及更新時(shí)間間隔應(yīng)縮短。

　　4.3.2泵污染

　　4.3.2.1泵污染的標(biāo)志是即使漏氣和脫附氣率沒有長時(shí)間變化，甚至長時(shí)間烘烤也不能恢復(fù)其真空性能，這時(shí)應(yīng)對泵進(jìn)行清洗，清洗需由專業(yè)技術(shù)人員處理，嚴(yán)禁不經(jīng)培訓(xùn)而私自拆泵。

　　4.3.3沖擊防護(hù)：分子泵是高旋轉(zhuǎn)機(jī)械，動靜片間間隙很小，不能抗過大的沖擊。