羅茨真空泵是一種旋轉式容積真空泵。其結構形式是由羅茨鼓風機演變而來的。它于1944年首先出現于德國，是為適應在 10 ～ 1000Pa 壓力范圍內具有大抽速的真空熔煉系統而作為機械增壓泵使用。

根據羅茨真空泵工作壓力范圍的不同，分為

　　1、低真空羅茨泵：直排大氣的干式單級羅茨泵(10000Pa)和濕式羅茨泵(2000Pa)；

　　2、中真空羅茨泵：機械增壓泵(1×10^-1 Pa)；

　　3、高真空羅茨泵：多級干式羅茨泵(高真空多級羅茨泵；

　　國內用量最多的為中真空羅茨泵 (以下簡稱羅茨泵) 。

羅茨泵與其它油封式機械泵相比有以下特點：

　　1、在較寬的壓力范圍內有較大的抽速;

　　2、轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉速;

　　3、泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染;

　　4、泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;

　　5、壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差;

　　6、轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

羅茨泵在真空工程領域中應用

　　1、在中真空范圍作為機械增壓泵應用，一般與前級泵(旋片泵，滑閥泵和水環泵等)串聯構成真空機組；

　　2、雙級或多級羅茨泵機組可獲得高真空；

　　3、對于干式清潔無油的抽氣系統多用氣冷式羅茨泵機組；

　　4、對于含水蒸氣的被抽系統，多用濕式羅茨泵；