分子泵是一種動(dòng)量型真空獲得設(shè)備，在分子流態(tài)下，氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的表面發(fā)生碰撞獲得一定方向的動(dòng)量，從而使氣體分子得到逐級(jí)壓縮，最后被抽除。

     1) 分子泵有三個(gè)類型：牽引型分子泵, 渦輪分子泵, 復(fù)合型分子泵,按制造結(jié)構(gòu)分類:油潤(rùn)滑、脂潤(rùn)滑、磁懸浮--單磁永磁懸浮、全磁懸浮。

     2) 分子泵的特點(diǎn)

　　連續(xù)抽除氣體,節(jié)省能源,可獲得清潔的真空

　　油潤(rùn)滑分子泵：潤(rùn)滑油量小，且在前級(jí)真空段，對(duì)真空室污染小。

　　脂潤(rùn)滑分子泵：油脂量極小，前級(jí)配干泵可獲得近似無油的清潔真空。

　　全磁懸浮分子泵：無須潤(rùn)滑，與干泵一起使用，可獲得無油的清潔真空環(huán)境。

分子泵油的特性

　　1.分子泵油應(yīng)該具有極低的飽和蒸汽壓，使設(shè)備能迅速獲得較好的極限真空；

　　2.分子泵油應(yīng)該具有優(yōu)異的低溫性能，在高低溫狀態(tài)下操作性能優(yōu)良；

　　3.分子泵油應(yīng)該具有優(yōu)良乳化特性和油水分離性；

　　4.分子泵油應(yīng)該具有良好熱安定性,在長(zhǎng)期高溫摩擦狀態(tài)下能保持良好的使用性；

　　5.分子泵油應(yīng)該具有優(yōu)良的潤(rùn)滑性，泵啟動(dòng)容易，能耗低，使設(shè)備減少磨損保持清潔。

分子泵油的用途

　　工業(yè)工藝過程(裝飾、ITO、PVD、晶振、玻璃鍍膜，照明、真空爐排氣)科研、軍工裝備儀器、設(shè)備半導(dǎo)體工業(yè)。制燈，玻璃鍍膜，柔性太陽能電池設(shè)備：在電子、電力、真空設(shè)備、低溫容器、壓力容器等領(lǐng)域都會(huì)用到分子泵和檢漏儀。

分子泵油的質(zhì)量指標(biāo)

分子泵油的更換和維護(hù)

　　1) 為保證分子泵軸承有良好潤(rùn)滑，應(yīng)定期更換分子泵油。

　　分子泵潤(rùn)滑油是一種低飽和蒸汽壓的專用潤(rùn)滑油，應(yīng)使用廠家指定的分子泵油。不得使用其他泵油替代。

　　2)分子泵油更換時(shí)間

　　對(duì)于油潤(rùn)滑分子泵，在初次使用2000小時(shí)左右，建議更換分子泵油。以后每運(yùn)轉(zhuǎn)半年時(shí)間左右進(jìn)行一次更換。

        對(duì)泵體經(jīng)常烘烤、工作氣載大、氣體中含有懸浮顆粒等使用情況下，建議縮短更換時(shí)間。

　　3)分子泵油的用量

       不同泵型分子泵油用量不同，一般說明書中會(huì)給出分子泵油用量說明。分子泵油杯上有刻度。