1、極限真空不高及其排除：

　　(1)油位太低，不能對排氣閥起油封作用，旋去加油螺塞后有較大排氣聲，并有油霧，證明油位太低，加油即可排除。
　　(2)油為可凝性蒸汽污染而引起之真空度下降，可開氣鎮(zhèn)凈化或換新油。
　　(3)泵口外接管道、容器、測試儀表管道接頭等漏氣，大漏時，旋去加油螺塞有大的排氣聲，并有氣和油霧排出，應(yīng)找漏，消除之。
　　(4)吸氣管或氣鎮(zhèn)閥橡膠件裝配不當(dāng)，損壞或老化應(yīng)調(diào)整或更換。
　　(5)油孔堵塞，真空度下降，可放油拆下油箱，松開油嘴壓板，拔出進油嘴，疏通油孔，盡量不要用紗頭擦零件。
　　(6)真空系統(tǒng)有嚴重污染，包括容器、管道等，應(yīng)予清洗。
　　(7)旋片彈簧折斷，應(yīng)予調(diào)新。
　　(8)旋片、定子或襯套磨損，應(yīng)予檢查，修整或調(diào)換。
　　(9)泵溫過高，這不但使油粘度下降，飽和蒸氣壓升高，還可能造成泵油裂解。應(yīng)改善通風(fēng)冷卻，降低環(huán)境溫度。如所抽氣體溫度太高，應(yīng)予先冷卻后再進入泵內(nèi)，環(huán)境溫度高，應(yīng)盡量采用較好的高速真空泵油或3#擴散泵油。
　　(10)由于零件的變形磨損或移動使止回閥頭的最大開啟高度降低甚至不能開啟，進油過少而使真空度降低，應(yīng)調(diào)整，詳見裝配部分。

2、真空泵噴油

　　檢查油位是否過高，油氣分離器有無泵油或雜物，擋油板位置是否正確、牢固、吸氣口、氣鎮(zhèn)閥的墊好，減霧器是否裝好。

3、漏油

　　查看放油螺塞、油標、油箱墊片是否損壞或裝配不當(dāng)，有機玻璃有無過熱變形，應(yīng)調(diào)整更換或降低油溫。
　　泵與支座的連接螺釘未墊好，未擰緊，油封裝配不當(dāng)或磨損，也會漏油，但不會污染場地，不嚴重的可繼續(xù)使用，嚴重的應(yīng)更換油封、墊圈或調(diào)整裝配。

4、噪聲過大

　　可因旋片彈簧折斷，進油量增大，軸承磨損，零件損壞而有所增大，應(yīng)檢查，調(diào)整或更換。旋片活動不暢也會引起噪聲增大，環(huán)境溫度高，旋片熱膨脹，旋片厚度與轉(zhuǎn)子配合過緊時應(yīng)把旋片改薄，厚度間隙可為0.09-0.14mm。

5、返油

　　止回閥未關(guān)好，停泵后油位很快下降，可再開再停，觀察變化或拆開檢查，止回閥頭老化變形松動，調(diào)換之。
　　二泵蓋內(nèi)油封裝配不當(dāng)或磨損或老化松動，調(diào)換之。
　　泵蓋或定子平面不平整，修整。

6、泵油發(fā)黑，油溫較高，可因油封外圓松動。與轉(zhuǎn)子發(fā)生摩擦引起，應(yīng)及時更換油封，以免損壞旋片，油封外徑應(yīng)予測量，宜選大一點的（φ30＋0.25/0.15，φ40＋0.30/0.20）。