本文對(duì)機(jī)械真空泵測(cè)試中常用的幾種流量計(jì)進(jìn)行了討論,尤其對(duì)噴嘴流量計(jì)從測(cè)量原理上進(jìn)行了探討,研究了減少測(cè)量誤差的措施。著重對(duì)滴管流量計(jì)量程向小流量方向拓展進(jìn)行了深入的研究,提出了真空滴管式流量計(jì)的設(shè)想,完善了結(jié)構(gòu)設(shè)置和操作規(guī)程,總結(jié)了真空滴管式流量計(jì)的特點(diǎn)。

　　測(cè)量機(jī)械真空泵流量的儀器種類繁多，有渦輪流量計(jì)、渦街流量計(jì)、轉(zhuǎn)子流量計(jì)、質(zhì)量流量計(jì)、孔板流量計(jì)、噴嘴流量計(jì)和滴管流量計(jì)等等，真空行業(yè)中常用的是后面幾種。

　　轉(zhuǎn)子流量計(jì)存在精度低、讀數(shù)不夠穩(wěn)定等缺點(diǎn)，不宜作測(cè)量?jī)x表。但由于價(jià)格低廉、使用方便、讀數(shù)直觀并可遠(yuǎn)傳，常常被應(yīng)用于生產(chǎn)流程中的流量顯示。

　　質(zhì)量流量計(jì)精度高、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定可靠、操作使用方便，因此得到了廣泛的應(yīng)用。但對(duì)真空設(shè)備行業(yè)而言，卻存在流導(dǎo)不足的問(wèn)題。例如目前最大的質(zhì)量流量計(jì)，最大量程已達(dá)2000 SLM，但連接口徑只有10 mm，故適宜于測(cè)量壓力氣體的流量；用來(lái)測(cè)量真空泵則量程只有其額定值的幾分之一，經(jīng)實(shí)際驗(yàn)證，情況確實(shí)如此，所以在真空行業(yè)中只能用來(lái)測(cè)量小流量。

　　孔板流量計(jì)曾被廣泛應(yīng)用于水泵行業(yè)，因其體積較大，安裝和使用相對(duì)比較麻煩，應(yīng)用得較少。主要使用在低真空和中、大流量的場(chǎng)合，例如活塞式真空泵、水環(huán)式真空泵的測(cè)量中。真空行業(yè)中使用最廣泛的是滴管流量計(jì)和噴嘴流量計(jì)，這是二種絕對(duì)流量計(jì)，只要認(rèn)真操作，完全可以獲得較高的精度。

1、噴嘴流量計(jì)

　　噴嘴流量計(jì)是根據(jù)流體動(dòng)力學(xué)中的Laval（拉瓦爾）噴管原理設(shè)計(jì)的一種絕對(duì)流量計(jì)，它在噴嘴出口壓力與入口壓力之比等于0.528 時(shí)，噴嘴中氣流速度達(dá)到超音速，通過(guò)的氣體流量達(dá)到最大值。噴嘴出口壓力繼續(xù)降低，上述壓力比將開(kāi)始小于0.528 并繼續(xù)下降，氣體流量保持不變。

　　上述流量的計(jì)算還需經(jīng)換算和校正，如大氣壓力換算、氣體常數(shù)換算、噴嘴效率校正和壓力比校正。需要特別指出的是壓力比的校正，當(dāng)噴嘴出口壓力與入口壓力之比大于0.528 之后，噴嘴中的氣流速度開(kāi)始低于音速，并隨著壓力比的繼續(xù)增加，噴嘴中的氣流速度進(jìn)一步下降，在此狀態(tài)下的流量計(jì)算已不再遵循公式（1），必需進(jìn)行壓力比校正。具體計(jì)算參見(jiàn)GB/T13930 水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機(jī)氣量測(cè)定方法。

　　噴嘴流量計(jì)的測(cè)試裝置如圖1 所示。

　　本噴嘴流量計(jì)測(cè)試裝置與GB/T13930 規(guī)的不同之處在于，各噴嘴中的超音速氣流進(jìn)入到測(cè)試罩后，由于集束效應(yīng)，氣流不容易均勻混和，壓力穩(wěn)定性差，按GB/T13930 規(guī)定的裝置測(cè)得的抽速偏差較大；所以我們將測(cè)試罩長(zhǎng)度加長(zhǎng)，L/D=3~4，同時(shí)取壓位置從測(cè)試罩上移到錐管下面的連接管上。試驗(yàn)證明這項(xiàng)改進(jìn)效果顯著，再也沒(méi)有出現(xiàn)抽速偏大的現(xiàn)象。

　　實(shí)際應(yīng)用中，噴嘴流量計(jì)應(yīng)盡量避免在3 kPa壓力以下使用，因?yàn)榇藭r(shí)測(cè)試罩中真空度較高，使用的都是小噴嘴，從噴嘴中進(jìn)入的超音速氣流的集束效應(yīng)更厲害，氣流的均勻性和穩(wěn)定性更差；再加上小口徑噴嘴的附面層影響也較大，將對(duì)抽速的測(cè)試產(chǎn)生很大的偏差。測(cè)試罩中真空度越高，這個(gè)偏差越大。

2、滴管流量計(jì)

　　滴管流量計(jì)因其量程寬、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、精度較高，并且是絕對(duì)流量計(jì)而得到廣泛應(yīng)用。滴管式流量計(jì)一直是國(guó)內(nèi)外真空標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的測(cè)量真空泵抽速的一種流量計(jì)，通過(guò)精確計(jì)量出滴管不同高度的容積，就能準(zhǔn)確測(cè)量真空泵的流量，至今仍為國(guó)內(nèi)外有關(guān)真空標(biāo)準(zhǔn)所采用。

　　而現(xiàn)階段使用的滴管流量計(jì)存在這樣一個(gè)突出的缺點(diǎn)：由于毛細(xì)管現(xiàn)象的存在，在小直徑玻璃管中液面存在不同程度的壓低值，因此滴管直徑不能過(guò)小，也就是不能測(cè)量小流量或小流量測(cè)得的數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確。

　　真空滴管式流量計(jì)具有以下特點(diǎn)：

　　(1) 滴管式流量計(jì)安裝在密封油箱上，通過(guò)輔助真空泵的抽氣和真空（放氣）閥來(lái)達(dá)到和保持動(dòng)態(tài)穩(wěn)定的真空，整個(gè)流量測(cè)量系統(tǒng)均處于真空狀態(tài)下，擴(kuò)大了流量測(cè)量范圍，特別是向小流量拓展。而且它的真空度可調(diào)控，以此來(lái)設(shè)置它的不同的流量范圍。

　　(2) 整個(gè)流量測(cè)量系統(tǒng)既可以處于真空狀態(tài)下，又可以處在大氣狀態(tài)下，擴(kuò)大了流量測(cè)量范圍。

　　(3) 當(dāng)整個(gè)流量測(cè)量系統(tǒng)處于真空狀態(tài)下時(shí)，流量測(cè)量系統(tǒng)的真空度必須低于103 Pa，以保證流量測(cè)量工作的正常進(jìn)行。

　　(4) 滴管中液面的上升高度是預(yù)先設(shè)定的，并通過(guò)超聲波液位變送器發(fā)出液位訊號(hào)；液面上升某高度所需的時(shí)間由計(jì)時(shí)儀記錄，它受液位變送器發(fā)出的液位訊號(hào)所操控，從而避免了手動(dòng)計(jì)時(shí)和眼睛觀察高度所引起的誤差，進(jìn)一步提高了測(cè)試精度。

　　(5) 真空滴管式流量計(jì)在真空狀態(tài)下時(shí)，特別適宜于測(cè)量小流量。它可用較大直徑滴管來(lái)測(cè)量小流量，避免了小直徑滴管因毛細(xì)管作用引起的流量測(cè)試值偏低的情況，使測(cè)試更加準(zhǔn)確。

　　(6) 真空滴管式流量計(jì)整個(gè)系統(tǒng)處于真空狀態(tài)下，工作液（油）不會(huì)被灰塵和水蒸氣污染，保證了測(cè)量精確度。

　　真空滴管式流量計(jì)是最新研究成果，很可能存在考慮不周的地方，望批評(píng)指正。