多級爪型真空泵如圖3所示,它采用了形狀復雜的爪型轉子。這種泵也類似羅茨泵型式,兩個轉子與泵體之間形成泵腔的抽氣容積,吸氣口和排氣口是固定在上下端蓋的側面上,由轉子旋轉過程中自動開關。

圖3　爪型泵的工作原理

        沿軸向逆流少,如圖4所示。因此在高壓區它的壓縮比,比羅茨泵的壓縮比高,如圖5所示。

圖4　爪型真空泵

圖5　羅茨泵和爪型泵的壓縮比的比較

          由于這種泵的吸氣口和排氣口安置在泵腔的側壁上,多級連接起來很方便,氣道流暢,泵內腔壓力變化平緩,有利于防止可凝性氣體的凝結。為了防止可凝性氣體在泵內的凝結,也要向泵腔內通凈化氣體。這種爪型泵極限壓力為1～10Pa, 抽速為100～180m³/h,有2～4級串聯的系列產品出售。