中真空機組的工作壓力范圍約在100～0.1Pa之間,其常用的主泵有油增壓泵、機械增壓泵(羅茨泵)等,機組適用于需要大抽速和獲得低、高真空的各種真空系統中。可廣泛用于鍍膜機、真空冶煉、真空熱處理、化工、醫藥、電工、焊接等行業。

羅茨泵—油封機械泵機組

      圖6 是以羅茨泵為主泵,油封機械泵為前級泵的中真空獲得設備,整套機組可安置在一個機架上,結構緊湊,使用方便。

      可選擇ZJ型普通羅茨真空泵作為機組的主泵,也可選用帶旁通壓差閥的羅茨泵,前者須在系統被前級泵抽到羅茨泵允許的起動壓力時才能起動主泵工作。后者由于羅茨泵帶旁通壓差閥,所以羅茨泵可在較高的入口壓力時運轉而不發生過載和過熱現象 因此主泵可以在前級泵工作后,根據系統的實際情況來決定它的起動壓力。對于小型機組,還可以兩泵同時起動,以加大抽速和縮短抽氣時間。

a)通過羅茨泵腔預抽的機組(b)帶旁通預抽管路的機組

圖6羅茨泵加油封機械泵機組

羅茨泵—水環泵機組

       圖7 為ZJ型羅茨泵加上水環泵機組,它適合抽除含有大量水蒸氣的氣體,如真空濃縮、真空干燥,特別適宜于弱酸氣體及含有少量細微粉塵氣體的抽除。

(a)通過羅茨泵腔預抽的機組(b)帶旁通預抽管路的機組

圖7 羅茨泵加水環泵機組

雙羅茨泵為主泵的中真空機組

      為了提高真空機組的抽氣性能,達到較低的極限壓力和改善在低入口壓力時的抽速特性及對大型真空機組配用較小規格的前級泵,可以組成由二個ZJ型羅茨泵串聯作為主泵的三級抽氣機組,如圖8、圖9 所示。

圖8 兩級羅茨泵加油封機械泵機組

圖9 雙級羅茨泵加水環泵機組

       圖10為兩級ZJ型羅茨泵和一級水環泵(極限壓力P0=6700Pa)及氣鎮式油封機械泵聯合組成的真空機組,其極限壓力可達10-2Pa。當需要大量抽除水蒸汽時,關閉閥門8,用水環泵做粗抽泵和前級泵,當水蒸汽分壓達到300~1300 Pa后,關閉閥5,打開閥8,用氣鎮式機械泵做前級泵。

1. 冷凝器 2.ZJ600羅茨泵 3.ZJ150羅茨泵 4.粗抽泵 5.前級閥1 6.ZSK3水環泵 7.2H70滑閥泵 8.前級閥2

圖10 雙級羅茨泵加水環泵及油封機械泵復合機組