分子篩吸附泵的抽氣特性
2020-05-06 真空技術網 真空技術網整理
1、分子篩吸附泵極限壓強：一般為10-2～10-3Pa。
2、分子篩吸附泵的抽速：分子篩吸附泵的抽速可用經驗公式計算。
S = 2.8×10-2A (L/S) (1)
S = 6.6×10-3A·K (L/s) (2)
n = 4( W / A ) (3)
式中A為垂直于泵軸線的截面積(cm2)；K為系數；W為分子篩用量(g)；當 n>17 時，用(1)式計算抽速S，當 n<17 用(2)式計算S，系數K按表1選取。
表1 系數K
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n
|
2
|
4
|
6
|
8
|
10
|
14
|
17
|
|
K
|
1.75
|
2.85
|
3.35
|
3.65
|
3.75
|
3.99
|
4.0
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