高頻火花檢漏器的工作原理和檢漏應用

2008-09-24 admin 真空技術培訓講座

高頻火花檢漏器是個高頻高壓對地放電器件，可以用于真空檢漏。

    (1)工作原理與結構

    圖9示出一種電容，電感串聯諧振式高頻火花檢漏器的原理圖。接通K，當接觸器CD閉合時，電流流經L1、CD，電流很大，L1產生足夠大的電磁力吸引CD斷開，于是形成L1、C、L2的回路。由于阻抗增加，電流減小導致電磁力下降。從而使CD重新閉合。如此反復，在L2上施加高頻脈沖電壓，因此高壓線圈L3便感應出高頻高壓脈沖電壓。而L3的一端對地放電產生高頻火花擊穿現象。這就是高頻火花檢漏器的工作原理。

高頻火花檢漏器的工作原理圖

圖9：高頻火花檢漏器的工作原理圖

    (2)玻璃真空系統的檢漏

    將高頻火花檢漏器的放電簧F沿著已抽空的玻璃系統外表面慢慢移動，沒有漏孔時放電火花束呈雜亂分散狀態，當遇到漏孔時火花束集中成一條細束，且指向系統上亮點(漏孔內空氣電離率遠遠大于玻璃的結果)，該亮點就是漏孔的位置。