本研究利用SEM、AES、XRD、Raman 譜儀、納米壓痕儀、劃痕儀和球- 盤磨損實驗機對摻鎢DLC膜的微觀結構和摩擦學性能進行了研究，結果表明：摻鎢DLC 膜光滑致密，具有納米晶碳化鎢和非晶碳組成的復相結構；其硬度和彈性模量為19- 23GPa 和200- 228GPa，膜/ 基結合力好；摩擦系數隨著載荷的增加略有增加，轉速對摩擦系數的影響較小；當載荷大于1.96N 時，磨損率隨著載荷增加急劇增大，磨損率隨著轉速的增加存在一個極小值；DLC 膜的磨損主要是由基體塑性變形引起的梯度摻鎢DLC 膜內部不同亞層之間的剝離和DLC 膜的斷裂引起的。

　　類金剛石膜（DLC）具有高硬度、高耐磨性及低摩擦系數等特點，制備技術成熟，廣泛應用于精密機械零件、易磨損零件、切削刀具及模具等；但因其內應力大、膜/基結合力差、熱穩定性差，在很大程度上制約了DLC 膜在苛刻摩擦條件下的應用。通過摻雜改善DLC 膜性能，滿足惡劣服役條件對耐磨減摩涂層性能的苛刻要求，是DLC 膜研究的熱點領域，目前常用的摻雜元素包括鎢、鉻、鈦等。在DLC 膜中摻雜鎢可以形成碳化鎢和非晶碳組成的復相結構，明顯提高DLC 膜的硬度、膜/基結合力、韌性，緩解DLC 膜的內應力，從而大大降低DLC 膜的磨損率，這使得摻鎢DLC 膜具有廣泛的應用前景。

　　DLC 膜的摩擦學性能與載荷、速度、對摩副材料、潤滑條件、溫度、濕度等因素密切相關，但目前對摻鎢DLC 膜在不同摩擦條件下的摩擦學性能研究還不夠充分，進一步探討摩擦條件對摻鎢DLC 膜摩擦磨損性能的影響規律對DLC 膜的應用具有重要意義。

1、實驗方法

　　采用真空陰極電弧/磁控濺射/離子束沉積復合多功能鍍膜方法制備摻鎢DLC 膜。試樣基體為316L 不銹鋼拋光片，在裝爐前經過嚴格的超聲清洗、脫水、烘干處理。為了進一步提高膜/ 基結合力，首先利用真空陰極電弧沉積、離子束輔助磁控濺射沉積制備多組分梯度過渡層，然后利用離子束沉積+ 磁控濺射制備梯度摻鎢DLC 復合膜，沉積氣體為高純氬氣和高純甲烷，離子源工作參數根據優化的純DLC 離子束沉積工藝確定，濺射靶材為高純鎢，通過調整鎢靶電流來控制DLC 膜中的鎢含量，表層摻鎢DLC 膜沉積時的靶電流為1 A。梯度摻鎢DLC 膜總厚度為2.32 μm。

　　利用SIRON- 200 掃描電子顯微鏡觀察DLC膜的表面形貌和磨損表面形貌；利用PHI 700 納米掃描俄歇微探針系統分析DLC 膜的成分；利用RM2000 顯微共焦拉曼光譜儀分析DLC 膜的化學結合狀態；利用D/max- 2500 型X 射線衍射儀分析DLC 膜的相結構，X 射線管陽極為Cu 靶，采用小角度掠射分析模式，X 射線入射角為2°；利用MTS XP 型納米硬度儀測定DLC 膜的硬度和彈性模量。采用MTS- 3000 磨損試驗機探討轉速（載荷為1.96 N）和載荷（轉速為400 rpm）對DLC 膜摩擦磨損性能的影響，其它摩擦條件為：對磨件為5 mm 的Si3N4 球，摩擦半徑為3 mm，摩擦時間為30 min；利用Micro XAM- 3D 型三維白光干涉表面形貌儀測定磨損體積并計算出磨損率。

3、結論

　　（1） 摻鎢DLC 膜光滑致密，具有典型的DLC膜Raman 譜特征，為非晶碳膜上彌散分布著納米碳化鎢的復相結構；DLC 膜的缺陷主要由過渡層制備時陰極電弧的噴射產生。

　　（2） 摻鎢DLC 膜的硬度和彈性模量為19~23 GPa 和200~228 GPa， 具有好的膜/基結合力。

　　（3） 摻鎢DLC 膜的摩擦系數隨著載荷的增加略有增加，轉速對摩擦系數的影響較小。在低載時摻鎢DLC 膜的磨損率較低，但載荷高于1.9 N后載荷增加導致磨損率急劇增大；磨損率隨著轉速的增加出現一個最小值。DLC 膜的磨損主要是由基體塑性變形引起的梯度摻鎢DLC 膜內部的微觀斷裂和不同亞層之間的剝離產生的。