近年來，電容式薄膜真空計(jì)取得了重大進(jìn)展，新型的雙電容式薄膜真空計(jì)的問世，提高了該類真空計(jì)的精度，擴(kuò)展了測(cè)量范圍，使其測(cè)量下限可達(dá)10^-3Pa。現(xiàn)以兩種雙電容式薄膜真空計(jì)的結(jié)構(gòu)為例介紹電容式薄膜真空計(jì)的進(jìn)展。

　　第一種是差動(dòng)式雙電容薄膜真空計(jì)

　　下圖所示的新型雙電容式薄膜真空規(guī)是一種差動(dòng)式結(jié)構(gòu)。在彈性膜片3的兩側(cè)對(duì)稱裝有固定電極1和2，分別形成靜態(tài)電容C01和C02。彈性膜片3將規(guī)管分隔成測(cè)量室和壓力參考室兩部分，分別接被測(cè)真空系統(tǒng)和參考真空系統(tǒng)。電容C01和C02作為電橋電路的兩條橋臂。當(dāng)規(guī)管內(nèi)壓差為零時(shí)，電橋處于平衡狀態(tài)。當(dāng)壓差p1-pb >0時(shí)，電橋?qū)⒁螂娙軨01和C02值反向改變而失去平衡，并輸出相應(yīng)的電信號(hào)。

　　差動(dòng)式雙電容薄膜真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是：被測(cè)壓力變化使電容C01和C02都發(fā)生變化，且方向相反，提高了電橋失衡程度，因此提高了測(cè)量靈敏度；另外，由于彈性膜片兩側(cè)的固定電橋?qū)ΨQ設(shè)置，因而抵消了環(huán)境溫度等因素引起的電容C01和C02的變化效應(yīng)，從而減小了測(cè)量誤差，提高了測(cè)量精度。

圖 差動(dòng)式雙電容薄膜規(guī)結(jié)構(gòu)示意圖

　　差動(dòng)式雙電容薄膜真空計(jì)為全壓計(jì)，具有測(cè)量結(jié)果與氣體成分無(wú)關(guān)、測(cè)量精度高（一般為0.1% ～2%）、反應(yīng)速度快（2～100ms）、溫度影響小和測(cè)量范圍寬的特點(diǎn)。其測(cè)量下限可達(dá)10^-3～10^-2Pa。

　　第二種是單側(cè)雙電容薄膜真空計(jì)

　　下圖所示為單側(cè)雙電容薄膜真空規(guī)的結(jié)構(gòu)示意圖。它和差動(dòng)式雙電容結(jié)構(gòu)的區(qū)別是將測(cè)量室中的固定電極2移入?yún)⒖际抑校�處于固定電極1旁邊的偏軸位置。真空技術(shù)網(wǎng)(http://shengya888.com/)認(rèn)為在測(cè)量時(shí)，由中心電極1反映彈性膜片3的最大位移，由偏軸電極2反映彈性膜片3的較小位移，兩個(gè)電極一起輸出彈性膜片曲率變化信號(hào) ———“曲率指示”，其輸出的差值作為被測(cè)壓差的指示。

圖 單側(cè)雙電容薄膜規(guī)結(jié)構(gòu)示意圖

　　單側(cè)雙電容薄膜真空計(jì)具有靈敏度高、氣體的介電常數(shù)不變、壓力讀數(shù)完全不受氣體成分影響、反應(yīng)速度快等特點(diǎn)。如將其規(guī)管參考室內(nèi)加置消氣劑并抽至10^-5Pa，就可測(cè)量10^-3Pa及以上的絕對(duì)壓力。