當(dāng)前渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)有立式v與臥式渦輪分子泵之分。入口的氣流與旋轉(zhuǎn)軸平行的渦輪分子泵屬于立式的；進(jìn)入氣流垂直于旋轉(zhuǎn)軸中心的渦輪分子泵屬于臥式的。這種臥式泵，進(jìn)入氣體對(duì)稱(chēng)分為兩半，直角轉(zhuǎn)向兩側(cè)分別進(jìn)入兩側(cè)相同的轉(zhuǎn)子定子葉柵中，由兩側(cè)氣流匯集于共同的出口。這兩種形式的泵又稱(chēng)單端泵和雙端泵。這兩種泵市場(chǎng)上均有出售。

臥式渦輪分子泵

　　臥式渦輪分子泵特點(diǎn)是其轉(zhuǎn)子主軸水平布置。這種結(jié)構(gòu)的分子泵是雙軸流的，吸氣口在兩組抽氣單元的中央，氣體吸入后，分別被左右兩側(cè)的葉列組合抽走。軸承分別裝在各抽氣單元的排氣側(cè)，見(jiàn)圖 1 。

1.動(dòng)片 2.定片 3.進(jìn)氣口 4.軸 5.軸承 6.排氣口

圖1：臥式渦輪分子泵結(jié)構(gòu)示意圖

　　臥式渦輪分子泵的特點(diǎn)是抽氣時(shí)轉(zhuǎn)子受力均勻，軸承定位、受力狀態(tài)好，使用壽命長(zhǎng)，且軸承更換過(guò)程中，轉(zhuǎn)子位置不動(dòng)，維修方便。

立式渦輪分子泵

　　立式渦輪分子泵結(jié)構(gòu)如圖 2 所示。

圖2：立式渦輪分子泵結(jié)構(gòu)示意圖

　　立式渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子軸垂直安裝，只有一組抽氣組合葉列。轉(zhuǎn)子葉輪高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，被抽氣體沿著轉(zhuǎn)子組和定子組自高真空端向低真空端壓縮，被驅(qū)向前級(jí)，由前級(jí)泵抽走。泵由泵殼、渦輪葉列組件和電動(dòng)機(jī)等組成。現(xiàn)代渦輪分子泵轉(zhuǎn)子和定子之間的間隙較大，通常在 lmm 左右，因此泵工作時(shí)很安全。立式泵的裝配工藝要比臥式泵簡(jiǎn)單，所以立式泵發(fā)展很快。

　　軸承潤(rùn)滑方式有油脂潤(rùn)滑、油繩潤(rùn)滑和離心供油潤(rùn)滑等方式。分子泵軸承潤(rùn)滑油的性能必須具備以下三個(gè)條件，才能滿(mǎn)足泵的工作要求：a. 高速下具備良好的潤(rùn)滑性能；b. 飽和蒸氣壓低于前級(jí)泵工作液的飽和蒸氣壓；c. 粘度適當(dāng)，使之兼有軸承冷卻液的作用。