如果停旋片式真空泵時,有油孔與泵腔相通或排氣閥、軸封、泵蓋平面、進氣管、氣鎮閥等密封不嚴,由于液位差的存在和重力作用以及泵腔處于真空狀態時油箱與泵腔的壓差作用,油就會返入泵腔,油量足夠大時,油還會返到進氣管道中,造成下次起動時阻力大,旋片和轉子受力大,排氣閥受力大,起動困難,影響零部件壽命,降低泵的可靠性。因此,應設法防止停泵返油。其原理是,在停泵時切斷油路,消除泵腔負壓,降低液位差,減少返入油量。

    常用的具體措施有：

1.把排氣閥附近的油與其余油隔開,油位只略高于隔墻。

2.把油箱和排氣閥移在側面,以降低油位,減少油量。

3.閥座平面要平整,閥片加彈力。

4.軸封河靜密封部位要可靠,適時更換。

5.在油孔中加管子,使油位僅略高于進油口。

6.設置止回閥機構,停泵時自動關閉進油孔。

7.設置油泵和輔助機構,停泵時切斷油路。

8.泵口裝充氣閥。9.裝入口容器。

    我國上海真空泵廠2XZ--4型泵上采用的第一種止回閥機構，是利用泵工作時葉輪受到油的反作用力成為一個凸輪機構，推動止回閥桿開啟油孔。閥桿必須調整到一個合理位置，使閥桿對葉輪的力的作用線與傳動中心有一個距離，從而停泵時，油對葉輪的反作用力消失。閥桿上的彈力會使葉輪偏轉而與閥桿脫開，關閉油孔。調整要點是油孔處閥頭平面的最大開啟高度為0.8～1.2mm，高了會出現死點。

    一種改進的結構是用拉簧代替彈簧片,可避免裝配、維修時不當心引起變形失效。用離心力來形成凸輪輪廓。偏心塊下落的惡阻力較小,關閉較可靠。

    優缺點比較：泵口裝電磁截止帶放氣閥等進氣口閥，會增加成本，增加閥門故障，降低抽速。對于油孔直通、排氣閥關閉不嚴的泵，閥只能延緩向泵腔返油和阻止油進入閥外被抽系統。對制造廠來說，泵的結構較簡單,制造較容易，防止污染閥外被抽系統較可靠。

       采用止回閥和動密封、靜密封的結構，即使遇到突然停電而不向泵內充氣，也能在較長時間內使泵腔處于真空狀態，無顯著返油。但其可靠性受制造、裝配、油封、排氣閥和其他靜密封件的質量狀況影響。如果加裝一入口容器，那么，即使發生返油，也只限到容器中，則比較可靠，用戶可自行選擇措施。

    順便指出，止回閥有節制進油量的作用。例如，每轉只有約四分之一的時間開啟油孔。油量過多噪聲大些,由于油中含氣，極限全壓力也可能會有所下降。過小的油孔加工較難，止回閥可克服這一困難。另外，萬一止回閥零件損壞，拆除止回閥桿后泵仍可使用。但停泵后要立即向泵內充氣，以防返油，故要適時檢修，對重要用途，可加裝放氣閥或截止帶放氣閥。