渦旋干式真空泵相關技術和安全使用問答
2008-10-25 鬼馬 真空技術網整理
Q：什么是渦旋干式真空泵？
A：不用油類或者液體密封的變容真空泵。
Q：渦旋干式真空泵的特點？
A：◇無油、無污染
◇低噪音、低振動
◇使用壽命長
◇空氣冷卻
◇配氣鎮閥、可抽可凝性氣體
Q：渦旋干式真空泵的主要用途？
A：◇半導體制備設備與處理室抽真空泵；
◇用于液晶注入系統；
◇分子泵真空系統的前級泵；
◇真空密封泵；
◇冷泵前級；
◇用于科學和化學分析儀器；
◇真空發生器；
◇電子顯微鏡前級泵。
Q：渦旋干式真空泵的主要技術指標？
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項 目
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指 標
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| 型號 | DVS-631(雙側渦旋型無油真空泵) | |||
| 抽氣速率 | 525 L/min (8.75 L/s) 50Hz, 630 L/min (10 L/s) 60Hz. | |||
| 極限真空度 | ≤1Pa(氣鎮閥關閉)，≤2.5Pa(氣鎮閥開啟) | |||
| 噪音 | ≤58dB(50Hz,), ≤60dB(60Hz,) (氣鎮閥關閉) | |||
| 電機 | 單相鼠籠式電機，全封閉風冷。單相 220V, 50Hz, 4芯, 600W | |||
| 最大連續進氣壓力 | 30,000Pa | |||
| 最大抽水蒸氣能力 | 23克/小時 | |||
| 電機 | 4芯，0.6千瓦 | |||
| 電源 | 三相200V(±10%) 50/60Hz(±2Hz) ≥10A |
單相100/200V(±10%) 50/60Hz(±2Hz) ≥10A |
三相220V(±10%) 50Hz(±2Hz) ≥10A |
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| 電機速度 | 1425 rpm（50 Hz） |
1430 rpm（50 Hz）
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| 環境溫度 | 1710 rpm（60 Hz） |
1710 rpm（60 Hz）
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| 進氣口直徑 | 5～35 ℃ | |||
| 排氣口直徑 | NW40 | |||
| 外型尺寸 | NW25 | |||
| 重量 | 41kg |
44kg
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| 漏率 | ≤6x10-2Pa L/S | |||
| 附件 | 計時器(零件號502365)和說明書 | |||
