螺旋干式真空泵,是根據螺桿式壓縮機的工作原理作成的。最近開發的這種泵共有兩種結構。

① 螺桿式真空泵((Lysholm型)

        在螺桿式壓縮機中,螺旋轉子的螺旋圈數在一圈以內,而螺桿真空泵的圈數如圖6所示那樣在2圈以上, 這樣可減少返流量, 提高壓縮比, 單級泵可從大氣壓抽到1Pa的極限壓力,抽速為60～ 120m³/h,有市售產品。

圖6　螺桿泵的抽氣原理

② 矩形螺旋式真空泵

         如圖7 所示, 有矩形斷面的右螺旋和左螺旋的一對轉子相嚙合, 由同步齒輪帶動實現非接觸式的高速運轉, 氣體由上側進入, 在泵腔內壓縮由

圖7　矩型螺旋式真空泵

          轉子下端排除,轉子旋轉一周排氣一次。轉子和泵體內表面形成一種螺旋密封結構, 矩形斷面間隙泄漏較少,故可得到較高的壓縮比, 泵的壓縮比和抽速與轉子的螺旋導角,轉子與泵體的間隙,螺旋的嚙合率,螺旋圈數,轉子直徑和旋轉速度等因素有關。由于它的螺旋圈數多, 比上述的螺桿式干泵的壓縮比高, 而抽速低, 這種泵可從大氣壓抽到極限壓力10^-1Pa,抽速為40～80m³/h的泵有市售。