近年來，隨著世界各國航天技術(shù)發(fā)展和其它高新技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用需求，需要精確測量10^-12 Pa·m³/s及以下量級的極小氣體流量。

　　國防科技工業(yè)真空一級計量站經(jīng)過多年技術(shù)攻關(guān)，突破了小孔流導(dǎo)的精確測量、基于非蒸散型吸氣劑的選擇性抽氣、固定流導(dǎo)法流量計的測量下限延伸等多項關(guān)鍵技術(shù)。在國際上首次提出基于非蒸散型吸氣劑的固定流導(dǎo)法測量氣體微流量的新方法，將氣體微流量的測量下限延伸到10^-12 Pa·m³/s的極小氣體流量范圍。提出基于靜態(tài)膨脹法真空標準的極小氣體流量測量方法，流量計的充氣壓力通過靜態(tài)膨脹法真空標準直接產(chǎn)生，再次將氣體微流量的測量下限延伸到10^-16 Pa·m³/s的極小氣體流量范圍。相關(guān)技術(shù)已在超靈敏檢漏、真空漏孔校準等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

　　“一種測量極小氣體流量的方法”2013年獲中國專利優(yōu)秀獎，相關(guān)成果分別于2010年、2011年獲甘肅省科技進步一等獎和國防技術(shù)發(fā)明二等獎。

極小氣體流量測量裝置實物照片

一種測量極小氣體流量的方法-中國專利優(yōu)秀獎證書