由全球領先的高精真空設備和尾氣處理系統制造商及相應增值服務供應商Edwards集團公司研發的Spectra-GTM3000尾氣處理系統，由于其減少發光二極管(LED)制造污染和成本的重要作用，贏得《工廠工程》雜志2012年“環境健康”類的“年度最佳產品”獎。

　　“我們很高興贏得這一聲名顯赫的大獎，”Edwards LED部門全球市場經理Shao Wei說，“ Spectra-G 3000讓全球LED制造商減少其業務對環境的影響，同時降低他們的運營成本。非常高興看到Edwards以環境責任奉獻最新技術的承諾已得到認可。”

　　中國的“十二五計劃”強調節能環保，它對于企業發展節能科技有一定的優惠待遇，同時對于碳排放，水質中的氮化物污染和空氣中的氮氧化物污染都設定了硬性指標。

　　將節能的LED燈用于普通照明和特殊應用(例如電腦和電視的平板顯示器背光(FPD))預計將對能源消耗和碳排放強度(間接)的降低帶來重大貢獻。但是，大規模LED制造可能產生氮化物和氮氧化物排放，這些排放物必須進行處理。

　　Edwards的Spectra-G 3000系統是一種先進的尾氣處理系統，為處理LED制造采用的有機金屬化合物氣相沉積(MOCVD)工藝中出現的大流量氨氣和氫氣而專門設計。它利用燃燒工藝將這些氣體轉化為無害的氮氣和水蒸汽。由于該工藝不使用外部的水，完全消除了供水的氮化物污染。燃燒過程的精確控制使氮氧化物的排放量大大低于許可的水平。氫氣的燃燒消除了制造設施下游設備的火災或爆炸危險。

　　由于來自MOCVD工藝的氨氣和氫氣的燃燒供應了大部分能量，這使得該系統顯著減少了總體營運成本。同時也極大地減少了燃料成本和烴燃料的碳排放。由于燃燒后我們使用空氣而不是水進行冷卻，因此空氣可以進行熱交換去收集并回收利用熱量，這進一步減少了制造設施的能耗和碳足跡。最后，該系統的耐用設計和燃燒工藝的簡潔性最大程度減少了設備維護成本。