各種真空系統可容許的漏氣范圍

2008-11-02 鬼馬 真空技術網整理

    嚴格地講,任何設備都有漏氣現象存在,問題在于漏氣量對真空設備及使用目的是否有影響。漏氣發生的影響在于可能影響到達的壓力或實驗生產的純度等。如果不能造成這種不良影響,則在某種范圍內可以容許有一定的漏氣。一般而言,如下表所示的漏氣量可以容許。

    容許漏氣量=設備最低壓力 x 排氣速度 x 1/(10-100)

真空設備

容許漏氣量（Ｐａｍ３／ｓ）

簡單的減壓設備

１０～１０２

減壓干燥設備

１～１０

簡單的蒸發成膜設備

１０-７～１０-６

高級成膜設備

１０-９～１０