標準編號:  JB/T 4082-1991
中文標準名稱:  濺射離子泵 技術條件
代替標準號:  JB4082-85,
標準簡介:
JB/T 4082-1991  濺射離子泵  技術條件規定了普通型式濺射離子泵的技術要求、檢驗規則、試驗方法、包裝、貯存等。本標準適用于JB/T 4081所規定的二極型(L型)和三極型(3L型)的濺射離子泵(以下簡稱泵)。
中國標準分類號:  J78

標準關注次數:  32次
標準上傳日期:  2010-1-4
發布日期:  91-07-22
實施日期:  92-07-01
標準類別:  機械行業標準
標準頁數:  
歸口單位:  沈陽真空技術所
起草人:  馮玉國
起草單位:  機械電子工業部沈陽真空技術研究所
文件格式:  PDF格式

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　　JB/T 4082-1991 濺射離子泵 技術條件