玻璃型鍍鋁二次表面鏡的制備及其評價試驗研究

趙印中 許 旻 李 林 王潔冰 吳春華 左華平

蘭州空間技術物理研究所表面工程技術重點實驗室

　　摘要：介紹了蘭州空間技術物理研究所鍍鋁OSR 的制備以及及其部分評價試驗情況。通過調整濺射功率、濺射氣氛、沉積時間以及離子束清洗的時間等參數，結合樣品的性能測試，研究了濺射功率、濺射氣氛、沉積時間以及離子束清洗制備等工藝參數對鍍鋁OSR 產品性能的影響規律，從而優化選擇出了合適的鍍鋁OSR 反射膜制備工藝參數;然后結合成熟的基片清洗工藝、ITO 膜制備工藝、保護膜制備工藝以及性能檢測技術，最后確定了合適的鍍鋁OSR的制備工藝。

　　隨后對制備的OSR 樣片先后進行了光學性能測試、電學性能測試、熱學性能測試，又進行了附著力測試試驗、水溶性、耐清洗、濕熱老化等環境評價試驗。結果表明，制備的鍍鋁OSR 太陽吸收率在0.112～0.123 之間，其光學性能、熱學性能、電學性能及其環境穩定性能等技術指標，均可以滿足其空間應用的設計要求。

　　關鍵詞：鍍鋁OSR 制備 評價試驗