微壓式數字活塞壓力計測量不確定度的評定

2013-04-02 魏萬印 中國航天科技集團公司五院

微壓式數字活塞壓力計測量不確定度的評定

魏萬印，李得天，馮焱，成永軍

(中國航天科技集團公司五院510 所)

　　摘要：粗低真空校準技術廣泛應用于航空航天等高科技領域。中國航天科技集團公司五院510 所建立的粗低真空校準裝置的核心是數字活塞壓力計，在30Pa-11kPa 校準范圍內采用了Furness 公司的FRS5 微壓式數字活塞壓力計作為主標準器。

　　本文分析了FRS5 微壓式數字活塞壓力計在絕壓模式下的測量不確定來源，并對各項不確定度分量進行了評定，最后給出了測量不確定度。