小型電容薄膜規的設計

2013-03-09 孫雯君 蘭州空間技術物理研究所

小型電容薄膜規的設計

孫雯君，馮焱，馬奔，習振華，成永軍，趙瀾

(蘭州空間技術物理研究所，甘肅 蘭州 730000)

　　摘要：由于制作工藝、使用材料等方面的限制，我國生產的商用電容薄膜規存在體積大、重量重、測量準確度不高等問題，無法滿足一些領域的真空測量需求，因此研究并提出了一種小型電容薄膜規。

　　為防止測量過程中溫度變化導致的規管重要部件的熱變形，減小電容薄膜規的測量不確定度，設計中采用了因科鎳合金整體機架結構和倒T 型結構的陶瓷固定極板;并在機架頂部中央設計有防熱變形結構。為消除測量過程中外界雜散電容和因溫度變化而引起的測量信號偏差，設計中采用了面積相同的雙電極結構。

　　小型電容薄膜規整體尺寸小于Φ40mm×24mm，重量小于200g，測量下限可低至10-2 Pa，測量不確定度小于5%，可適應較寬的工作溫度范圍，滿足不同領域的真空測量需求。