真空設備、尾氣處理設備和相應服務的供應商Edwards公司推出帶有完全集成一體化控制器的STP-iXR1606系列磁懸浮（magnetically-levitated）渦輪分子泵（turbo-molecular pumps，TMP）。新型TMP泵包含了革新性的旋轉設計，與現有產品相比，在高氣體流量下可提高40%的處理能力，并增加接近90%的最大氣體流量。

　　Edwards的新TMP泵帶有完全集成的控制器，省去了非集成控制器通常需要的連接電纜和控制柜。這有助于減少占位面積，為晶圓廠節省寶貴的空間，以及安裝時間和成本。此外，該一體式控制器包含了小型電源，與現有產品相比，在處理高流量氣體時能夠降低32%的能耗。

　　Edwards STP產品經理Masahide Tanaka稱：“新的STP-iXR1606擴展了Edwards行業領先的渦輪分子泵本身已有的較高性能。它的峰值抽速與我們最出色的8英寸TMP泵相匹配，但在處理能力和最大容許氣體流量方面則有顯著的提高。正如我們所有的磁懸浮TMP，該設備無需維護。STP-iXR1606系列為我們的客戶提供了適合所有應用的一體化TMP解決方案，同時能夠減少占位面積，簡化安裝過程并降低能源消耗成本。”

　　STP-iXR1606系列具有等同IP54級別的防塵和防潮性能，在多塵環境中提供了高可靠性。新設備具有I/O遠程、RS232C、RS485和STP-link標準通信接口，以及提供Profibus和DeviceNet選項。

　　Edwards STP-iXR1606 TMP 真空泵現已供應。要了解更多的信息，請訪問公司網站：www.edwardsvacuum.com。

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