針對目前使用的射流式真空發生器存在的持續定量供氣空氣消耗量大的問題，提出了一種新的流量自調式射流真空發生器的總體技術方案。研究了該技術方案中的分隔式氣-磁驅動關鍵技術，提出了真空檢測-壓差致動和共軸環芯結構非接觸式氣-磁驅動技術方案。研究了氣-磁驅動系統的動態特性并進行了試驗。結果表明:共軸環芯氣-磁驅動系統的磁驅動起動時間約為0.06s。同時，對共軸環芯結構主要設計參數間的匹配關系進行了試驗研究。通過對流量自調式真空發生器的整機測試表明，采用共軸環芯氣-磁驅動結構的流量自調式真空發生器在真空產生階段具有與固定式真空發生器相同的真空響應特性，在真空維持階段比固定式真空發生器節省供氣流量約14.8%。

　　真空吸取技術作為自動化操作的一種方式，已在工業的各個領域得到了廣泛的應用。作為局部真空發生裝置，目前使用的射流式真空發生器在工作時需要連續供氣和排氣，空氣消耗量很大。如何解決真空發生器在使用中的節能問題，同時又能滿足自動化生產線動作節拍對真空發生器快速響應提出的越來越高的要求，是射流式真空發生器研制中迫切需要解決的技術難題。

　　針對這一問題，筆者提出了一種流量自調式射流真空發生器的技術方案并申請了發明專利(國家發明專利申請號:20061004083211)。在真空產生階段(指真空發生器從開始工作到達到正常工作所需的真空度之間過程)，要求該真空發生器能實現真空的快速響應;在真空維持階段(指真空發生器達到正常工作真空度后保持該真空度直至工作結束之間的過程)，要求該真空發生器能實現對供氣流量的無級調節，達到節能的目的。為此，技術方案中提出的新構想是在真空噴管軸線方向的前端設置一個可調錐，在真空產生階段要求可調錐不影響真空響應速度。在真空維持階段，通過控制可調錐在軸線方向上的位移來減小真空噴管的有效流通截面積，從而減小真空發生器的供氣流量，實現節能。為了達到這樣的目的，需要解決以下技術問題:一是如何得到驅動可調錐運動的驅動力，二是如何利用該驅動力實現對可調錐的有效驅動，三是如何匹配流量自調式真空發生器的結構參數，使其能滿足真空產生和真空維持兩個階段不同的要求。同時，在確定流量自調式射流真空發生器的技術方案時，還應考慮使其結構簡單，成本低，易于產品化等要求。

1、分隔式氣-磁驅動技術研究

　　1.1、真空檢測-壓差致動技術方案的研究

　　要實現對可調錐的驅動，首先要解決驅動力源的問題。常用的方法是采用電-氣驅動方式，即利用真空壓力開關對真空發生器的真空度進行檢測，當真空度達到真空壓力開關設定的真空度值時，真空壓力開關發出電信號，啟動機械(或氣動)驅動裝置來驅動可調錐進行運動。但這種方法由于中間環節較多，一方面會增加系統的復雜程度，提高系統成本，降低系統工作的可靠性，另一方面也會影響系統的響應速度。為此，筆者提出了一種直接利用真空壓力獲得驅動力的真空檢測-壓差致動的技術方案，如圖1所示。將真空發生器的真空壓力信號直接反饋至真空腔，利用差動組件同時檢測該真空壓力信號和大氣壓這兩個物理量，并對大氣壓和真空度之間的壓力差進行力的放大，以此作為運動部件的驅動力。

圖1 真空檢測-壓差致動技術方案原理示意圖

　　這種技術方案的優點在于結構簡單，且由于差動組件即是真空度物理量的直接檢測元件，同時又是致動元件，因此響應速度快，且容易保證系統較高的工作可靠性。

　　1.2、共軸環-芯結構的磁驅動技術研究

　　從前面的分析可以看出，運動部件運動的驅動力來自于大氣腔與真空腔構成的常壓腔(圖1)。但是，在流量自調式真空發生器的結構設計上又要求可調錐位于真空發生器內工作氣體流經的高壓腔內，且與真空噴管同心。因此，如何利用常壓腔中產生的驅動力來驅動高壓腔內的可調錐，同時保證高壓腔與常壓腔之間良好的密封是該真空發生器研究中的一項關鍵技術。分析表明:如果采用貫穿于常壓腔和高壓腔的機械部件傳動或其它傳動方式，都很難保證兩腔的絕對密封。

1)差動組件 2)大磁環 3)小磁環 4)從動件 5)隔離套 6)可調錐7)噴管

圖2 共軸環芯結構磁驅動方案的結構示意圖

　　在比較了多種技術方案的基礎上，筆者提出了一種共軸環-芯結構的磁驅動技術方案，即采用永磁材料利用磁場的作用透過磁路工作間隙或隔離套的薄壁來實現驅動力的非接觸式傳遞，從而達到常壓腔的運動向高壓腔傳遞又使兩腔絕對密封的目的。圖2為該技術方案的結構示意圖。在差動組件1的內圓周面上鑲嵌有永磁材料的大磁環2，與可調錐6同心固聯的從動件4的外圓周面上鑲嵌有永磁材料的小磁環3，在大、小磁環之間設計有圓形的隔離套。差動組件1的左側腔室與大氣相通，右側腔室為真空反饋腔。當真空發生器不工作，即真空度為零時，差動組件在復位彈簧的作用下處于圖示的最左位，當真空發生器產生真空后，差動組件的兩側便產生了壓力差，當該壓力差大于彈簧力和摩擦力的合力時，差動組件便向右運動，在大、小磁環的磁力耦合作用下，帶動從動件及可調錐向右運動，從而達到調節真空噴管喉部有效截面積的目的。

　　由于采用了磁性非接觸式驅動方案，使高壓腔與常壓腔之間在結構上相互不連通，因而從根本上解決了高、低壓腔之間的密封問題，杜絕了兩腔之間的泄漏和串氣問題。同時，該結構的另一個優點在于它易于定心，保證了可調錐在運動過程中具備良好的軸線方向上的直線運動穩定性。

結論

　　針對筆者提出的流量自調式射流真空發生器的新型方案，研究了該方案中常壓腔與高壓腔分隔的氣-磁驅動關鍵技術，得到了以下的結論:

　　(1)研究了分隔式氣-磁驅動技術的結構方案，提出了真空檢測-壓差致動和共軸環芯結構非接觸式磁性驅動結構方案，滿足了高壓腔與常壓腔之間的非接觸驅動要求，保證了高壓腔與常壓腔之間良好的密封性以及可調錐良好的定心性。

　　(2)對共軸環芯結構進行的試驗研究結果表明:所設計的共軸環芯磁驅動結構的磁驅動起動時間約為0.06s。

　　(3)研究了共軸環芯氣-磁驅動結構的動態特性，并對主要設計參數間的匹配關系進行了試驗研究。研究結果表明:流量自調式真空發生器的啟動調節真空度以及彈性元件彈性系數等參數影響著可調錐的初設位置x0。若希望在較低的真空度水平開始實施對流量的調節，則x0應取較小值，反之，應取較大值。另一方面，當彈性元件彈性系數較大時，x0應取較小值;反之，x0應取較大值。

　　(4)將共軸環芯結構應用于流量自調式真空發生器進行的試驗研究結果表明:流量自調式真空發生器在真空產生階段具有與固定式真空發生器相同的真空響應特性，在真空維持階段比固定式真空發生器節省供氣流量約14.8%。