螺桿式干式真空泵的特點及應用

2013-04-29 真空技術網 真空技術網整理

螺桿式干式真空泵特點如下:

 、倏煽啃愿。螺桿式干式真空泵零部件少,沒有易損件,因此它運轉可靠,壽命長。

 、诓僮骶S護方便。

 、蹌恿ζ胶庑院。螺桿式干式真空泵沒有不平衡的慣性力,機器可平穩地高速運行。

 、苓m應性強。螺桿式干式真空泵具有強制輸氣的特點,在寬廣的壓力范圍內能保持較高的抽速,排氣量幾乎不受排氣壓力的影響.

 、荻嘞嗷燧敗S捎诼輻U式干式真空泵轉子齒面間留有微小間隙,因而可抽除腐蝕性、有毒、含有粉塵、可凝性蒸汽等多種氣體。

  盡管螺桿型干式真空泵具有這么多的優點,然而,由于目前國內一些公司正在使用的螺桿型干式真空泵均是從國外進口,價格非常昂貴,每臺螺桿泵價格要三、四十萬元人民幣,所以螺桿型真空泵在我國的使用并不廣泛。造成這一現象的主要原因是由于螺桿泵轉子型線較復雜,加工難度大,需用特制的刀具在專用機床上進行加工。另外,對螺桿型干式真空泵泵體的加工精度也有較高的要求,而國內的加工水平目前還難以達到這個水平。

  螺桿式干式真空泵廣泛應用于電子、核能、化工、醫藥、食品工業等領域。在半導體工業中用于生產芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產PLASMA的CVD制程。在核工業中用于核反應堆及核工業真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑,在脂肪酸生產中用來消除水污染,清除噴射器中的阻塞物;醫藥工業中用于回收藥液及藥物中間體,為人造器官生產提供清潔無菌條件,回收氣體消毒劑;食品工業中用于香料、香精濃縮,食品包裝等應用范圍極為廣泛。