微型離子泵抽速測(cè)試結(jié)果

        按照上文所述方法,用A1型磁鋼,并用配套電源進(jìn)行測(cè)試。用高純氮?dú)鉃槌樗贉y(cè)試氣體。每個(gè)數(shù)量級(jí)測(cè)量三個(gè)穩(wěn)定點(diǎn)。

圖3 　微型濺射離子泵抽速曲線

         圖3是微型濺射離子泵測(cè)試結(jié)果:離子泵對(duì)N2抽速≥013L/s。根據(jù)二極型濺射離子泵對(duì)不同氣體抽速的經(jīng)驗(yàn)比值可知,濺射離子泵對(duì)N2抽速為對(duì)干燥空氣抽速的85%。

         圖4 是美國(guó)Varian公司提供的微型濺射離子泵重量與抽速的關(guān)系曲線,可以看出:Varian公司生產(chǎn)的重量為300g的濺射離子泵抽速是0135L/s。

圖4 　Varian 公司微型濺射離子泵抽速與重量的關(guān)系

          作者研制的新型微型濺射離子泵重量≤150g,實(shí)際測(cè)試抽速≥013L/s。

兩種不同磁場(chǎng)下的抽速性能比較

        為了提高微型濺射離子泵的性能,設(shè)計(jì)了多種磁場(chǎng)源。圖5是其中兩種磁場(chǎng)源磁場(chǎng)強(qiáng)度的空間分布;圖6 是小離子泵分別工作在兩種磁場(chǎng)源下的抽速曲線圖。

圖5 　兩種磁場(chǎng)源磁場(chǎng)強(qiáng)度分布圖

圖6 　兩種磁場(chǎng)源離子泵抽速曲線